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刘相华
刘相华
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家自然科学基金
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陈猛
中国科学院上海微系统与信息技术...
王曦
中国科学院上海微系统与信息技术...
林青
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈静
中国科学院上海微系统与信息技术...
易万兵
中国科学院上海微系统与信息技术...
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陈猛
供职机构:清华大学
研究主题:注氧隔离 SOI 高温退火 SIMOX 低剂量
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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陈静
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:晶体管 浮体效应 阈值电压 SOI 存储器单元
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易万兵
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI SIMOX 氧 氮 注氧隔离
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朱鸣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:浮体效应 SOI器件 固体电子学 自加热效应 SOI
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林青
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI新结构 SOI SOI器件 氮化硅薄膜 自加热效应
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王湘
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 注氧隔离 键合 高温退火 离子注入
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刘忠立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:SOI FPGA 集成电路 SIMOX 现场可编程门阵列
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谢欣云
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI新结构 氮化硅薄膜 SOI SOI结构 自加热效应
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