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安正华
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20
被引量:20
H指数:4
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
林成鲁
中国科学院上海微系统与信息技术...
张苗
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘卫丽
中国科学院上海微系统与信息技术...
门传玲
同济大学材料科学与工程学院
沈勤我
中国科学院上海微系统与信息技术...
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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门传玲
供职机构:上海理工大学能源与动力工程学院
研究主题:碳纳米管 超级电容器 太阳能电池 ALN薄膜 石墨烯
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沈勤我
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发
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吴雁军
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 吸杂 ALN薄膜 绝缘层上硅 离子束增强沉积
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徐政
供职机构:同济大学材料科学与工程学院
研究主题:高岭石 超导体 超导电性 微波 ZNO压敏电阻
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谢欣云
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI新结构 氮化硅薄膜 SOI SOI结构 自加热效应
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狄增峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 锗 离子注入
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林青
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI新结构 SOI SOI器件 氮化硅薄膜 自加热效应
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