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靳晓诗
作品数:
124
被引量:10
H指数:2
供职机构:
沈阳工业大学信息科学与工程学院
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发文基金:
辽宁省科学技术基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘溪
沈阳工业大学
揣荣岩
沈阳工业大学信息科学与工程学院
吴美乐
沈阳工业大学信息科学与工程学院
杨敏
沈阳工业大学
王妍
沈阳工业大学
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2013
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双括号形栅控双向开关隧穿晶体管及其制造方法
本发明涉及一种双括号形栅控双向开关隧穿晶体管及其制造方法,本发明所述器件具有括号栅极和左右对称的结构特征,具有较强的栅极控制能力并且可以通过调节源漏可互换电极电压控制第二类杂质重掺杂源漏可互换区作为源区或漏区,改变隧穿电...
靳晓诗
高云翔
刘溪
具有低泄漏电流的无结折叠I形栅场效应晶体管
本发明涉及一种具有低泄漏电流的无结折叠I形栅场效应晶体管,包括SOI晶圆的硅衬底,SOI晶圆的硅衬底上方为SOI晶圆的绝缘层,SOI晶圆的绝缘层上方为单晶硅,单晶硅的表面上附有栅介质绝缘层,栅介质绝缘层表面附有折叠I形栅...
刘溪
杨光锐
靳晓诗
凹槽内嵌栅绝缘隧穿增强晶体管及其制造方法
本发明涉及一种凹槽内嵌栅绝缘隧穿增强晶体管,对比同尺寸MOSFETs或TFETs器件,所采用的设计方案在不增加芯片面积的前提下实现了低寄生电容和低反向泄漏电流的优点。利用隧穿绝缘层阻抗与其内部场强间极为敏感的相互关系实现...
靳晓诗
刘溪
分立双方筒形栅内嵌U形沟道晶体管及其制造方法
本发明涉及分立双方筒形栅内嵌U形沟道晶体管及其制造方法,可实现源电极和漏电极之间的间距仅有1纳米的高集成金属氧化物半导体场效应晶体管。本发明采用方筒形栅电极,在U形单晶硅所形成的凹槽内部不引入栅电极的前提下,保证了栅电极...
刘溪
夏正亮
靳晓诗
一种括号形栅控源漏阻变式双向开关晶体管及其制造方法
本发明涉及一种括号形栅控源漏阻变式双向开关晶体管及其制造方法,本发明所述器件具有括号栅极和左右对称的结构特征,具有较强的栅极控制能力并且可以通过调节源漏可互换电极电压控制金属源漏可互换区作为源区或漏区,改变隧穿电流方向。...
刘溪
夏正亮
靳晓诗
SOI衬底双栅绝缘隧穿基极双极晶体管及其制造方法
本发明涉及一种SOI衬底双栅绝缘隧穿基极双极晶体管,在基区两侧同时具有绝缘隧穿结构,在栅电极的控制作用下使绝缘隧穿效应同时发生在基区两侧,因此提升了隧穿电流的产生率;对比同尺寸MOSFETs或TFETs器件,利用隧穿绝缘...
靳晓诗
刘溪
SOI衬底双向击穿保护双栅绝缘隧穿增强晶体管及制造方法
本发明涉及一种SOI衬底双向击穿保护双栅绝缘隧穿增强晶体管,对比同尺寸MOSFETs或隧穿场效应晶体管,通过在集电结和发射结中引入低杂质浓度的击穿保护区以显著提升器件在深纳米尺度下的耐压的正向及反向耐压能力;在基区两侧同...
靳晓诗
刘溪
半栅极控制源极肖特基势垒型隧穿场效应晶体管
本发明涉及一种半栅极控制源极肖特基势垒型隧穿场效应晶体管,在无需引入化合物半导体、锗化硅或锗等禁带宽度更窄的材料来生成器件的隧穿部分的前提下,通过在金属源极和本征硅之间形成源极肖特基势垒,并利用半栅极控制源极肖特基势垒的...
靳晓诗
刘溪
揣荣岩
多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构
被引量:4
2013年
随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展,硅基加速度传感器已经得到广泛应用。但在敏感结构设计中,普遍存在灵敏度与固有谐振频率相互制约的矛盾。为此,采用多晶硅纳米膜作应变电阻,设计了300 nm超薄微梁加速度敏感结构。这种结构的设计改善了灵敏度与谐振频率之间的矛盾,使两者乘积值提高了30余倍,从而使压阻加速度计的性能得到大幅提升。
揣荣岩
白羽
吴美乐
代全
靳晓诗
关键词:
加速度传感器
压阻式
谐振频率
具有U形隧穿层基极的栅绝缘隧穿凹槽双极晶体管
本发明涉及一种具有U形隧穿层基极的栅绝缘隧穿凹槽双极晶体管,对比同尺寸MOSFETs或隧穿场效应晶体管,利用隧穿绝缘层阻抗与其内部场强间极为敏感的相互关系实现优秀的开关特性;利用栅绝缘隧穿电流作为引发发射集电流的驱动电流...
刘溪
靳晓诗
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