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国家高技术研究发展计划(2004AA404220)
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张大成
蒋庄德
赵立波
赵玉龙
胡维
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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赵涛
供职机构:北京大学
研究主题:CMOS电路 单片集成 大量程 流量计 集成化
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王小保
供职机构:北京大学
研究主题:单片集成 集成化 流量计 CMOS电路 大量程
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赵立波
供职机构:西安交通大学
研究主题:传感器芯片 电极 传感器 压阻 芯片
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蒋庄德
供职机构:西安交通大学
研究主题:传感器芯片 电极 传感器 芯片 压阻
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赵玉龙
供职机构:西安交通大学
研究主题:传感器芯片 MEMS 传感器 硅 芯片
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胡维
供职机构:北京大学
研究主题:残余应力 弹性模量 麦克风 MEMS 支梁
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贺学锋
供职机构:重庆大学
研究主题:压电 风致振动 压电层 钝体 压电式
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