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上海市科委纳米专项基金(0452nm024)
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汪静
李敏
惠春
孙建平
徐爱兰
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汪静
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:PZT薄膜 PZT 压电薄膜 AFM XRD
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李敏
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:溶胶-凝胶 PZT薄膜 AFM XRD SOL
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惠春
供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所
研究主题:PZT 聚对二甲苯 微电极阵列 水热合成 气敏传感器
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徐爱兰
供职机构:上海交通大学
研究主题:聚对二甲苯 癌细胞 微电极阵列 压电传感 气敏传感器
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孙建平
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题:气敏传感器 半导体气敏传感器 硅基底 单色仪 冷挤
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