-
高娇娇
-

-

- 所属机构:河北工业大学电子信息工程学院
- 所在地区:河北省
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项
相关作者
- 王辰伟

- 作品数:120被引量:167H指数:6
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
- 刘玉岭

- 作品数:481被引量:760H指数:13
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
- 蔡婷

- 作品数:7被引量:20H指数:4
- 供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
- 研究主题:CMP TSV 化学机械平坦化 多胺 络合剂
- 陈蕊

- 作品数:7被引量:21H指数:4
- 供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
- 研究主题:CMP 抛光液 铜布线 化学机械抛光 阻挡层
- 王胜利

- 作品数:59被引量:79H指数:5
- 供职机构:河北工业大学
- 研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 螯合剂