-
王辰伟
-
-
- 所属机构:河北工业大学
- 所在地区:天津市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项
相关作者
- 刘玉岭
- 作品数：481被引量：760H指数：13
- 供职机构：河北工业大学
- 研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
- 牛新环
- 作品数：128被引量：325H指数：9
- 供职机构：河北工业大学
- 研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
- 高宝红
- 作品数：73被引量：53H指数：4
- 供职机构：河北工业大学
- 研究主题：抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
- 王胜利
- 作品数：59被引量：79H指数：5
- 供职机构：河北工业大学
- 研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 螯合剂
- 高娇娇
- 作品数：16被引量：50H指数：5
- 供职机构：河北工业大学电子信息工程学院
- 研究主题：CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性
