-
戴媛静
-
-
- 所属机构:清华大学
- 所在地区:北京市
- 研究方向:机械工程
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 雒建斌
- 作品数：634被引量：1,174H指数：19
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
- 潘国顺
- 作品数：168被引量：274H指数：11
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
- 路新春
- 作品数：362被引量：356H指数：11
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：化学机械抛光 晶圆 抛光液 抛光垫 抛光
- 张晨辉
- 作品数：116被引量：125H指数：5
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：超高真空 换热器 水基润滑液 防锈剂 氦气
- 刘宇宏
- 作品数：64被引量：79H指数：6
- 供职机构：清华大学
- 研究主题：化学机械抛光 抛光液 摩擦副表面 铜布线 润滑材料
