路新春
作品数: 362被引量:356H指数:11
  • 所属机构:清华大学
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:机械工程
  • 发文基金:国家自然科学基金

相关作者

雒建斌
作品数:634被引量:1,174H指数:19
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
何永勇
作品数:258被引量:887H指数:17
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
王同庆
作品数:90被引量:56H指数:5
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 抛光液 CMP 抛光垫
赵德文
作品数:320被引量:595H指数:12
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
沈攀
作品数:63被引量:1H指数:1
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整