-
于大洋
-

-

- 所属机构:东北大学机械工程与自动化学院
- 所在地区:辽宁省 沈阳市
- 研究方向:一般工业技术
- 发文基金:国家高技术研究发展计划
相关作者
- 张以忱

- 作品数:215被引量:267H指数:9
- 供职机构:东北大学
- 研究主题:真空 真空系统 真空技术 磁控溅射 非平衡磁控溅射
- 巴德纯

- 作品数:424被引量:1,081H指数:15
- 供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
- 研究主题:磁控溅射 真空 故障诊断 干泵 抽气
- 杨宏伟

- 作品数:3被引量:3H指数:1
- 供职机构:深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
- 研究主题:非平衡磁控溅射 电弧离子镀 DLC膜 复合离子 镀膜技术
- 刘艳文

- 作品数:1被引量:3H指数:1
- 供职机构:深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
- 研究主题:AL含量 AL XN TI 非平衡磁控溅射
- 徐路

- 作品数:1被引量:6H指数:1
- 供职机构:深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
- 研究主题:掺杂 DLC 非平衡磁控溅射 性能研究 电弧离子镀