杨宏伟
作品数: 3被引量:3H指数:1
  • 所属机构:深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
  • 所在地区:广东省 深圳市
  • 研究方向:一般工业技术
  • 发文基金:深圳市科技计划项目

相关作者

于大洋
作品数:6被引量:16H指数:3
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:非平衡磁控溅射 DLC 电弧离子镀 硬质膜 N掺杂
张以忱
作品数:215被引量:267H指数:9
供职机构:东北大学
研究主题:真空 真空系统 真空技术 磁控溅射 非平衡磁控溅射