-
陈旺富
-
-
- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 胡松
- 作品数：471被引量：450H指数：9
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
- 周绍林
- 作品数：85被引量：71H指数：5
- 供职机构：华南理工大学
- 研究主题：纳米光刻 条纹 光栅 光固化 成像系统
- 杨勇
- 作品数：72被引量：67H指数：5
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：纳米光刻 光刻机 投影光刻 光刻 光刻胶
- 严伟
- 作品数：148被引量：126H指数：6
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
- 赵立新
- 作品数：228被引量：74H指数：6
- 供职机构：中国科学院光电技术研究所
- 研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
