-
杨勇
-

-

- 所属机构:中国科学院光电技术研究所
- 所在地区:四川省 成都市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家自然科学基金
相关作者
- 胡松

- 作品数:471被引量:450H指数:9
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
- 赵立新

- 作品数:228被引量:74H指数:6
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
- 严伟

- 作品数:148被引量:126H指数:6
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
- 周绍林

- 作品数:85被引量:71H指数:5
- 供职机构:华南理工大学
- 研究主题:纳米光刻 条纹 光栅 光固化 成像系统
- 陈旺富

- 作品数:27被引量:43H指数:4
- 供职机构:中国科学院光电技术研究所
- 研究主题:纳米光刻 条纹 双光栅 光栅 成像系统