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武国英

作品数：61 被引量：245H指数：9
供职机构：北京大学更多>>
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共 71 条 记 录，以下是 1-10
郝一龙
供职机构：北京大学
研究主题：MEMS 微机电系统 微电子机械系统 硅 加速度计
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王阳元
供职机构：北京大学
研究主题：场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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张国炳
供职机构：北京大学
研究主题：硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
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李志宏
供职机构：北京大学
研究主题：电极 微针 针尖 微机电系统 芯片
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杨振川
供职机构：北京大学
研究主题：锚点 微机械 陀螺 电极 微机械陀螺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李婷
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李映雪
供职机构：北京大学
研究主题：SOI SIMOX SIMOX材料 退火 MOSFET
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张大成
供职机构：北京大学
研究主题：微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志宏
供职机构：北京大学信息科学技术学院
研究主题：MEMS 硅 VLSI 微机电系统 微电子机械系统
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肖志雄
供职机构：北京大学
研究主题：版图设计 多晶硅 键合 氮化硅薄膜 干法
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