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李昌敏

作品数：6 被引量：21H指数：3
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：上海市教育发展基金会“曙光计划”项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术医药卫生更多>>

合作作者

领域

  • 18个电子电信
  • 17个自动化与计算...
  • 15个一般工业技术
  • 14个电气工程
  • 13个理学
  • 12个机械工程
  • 11个化学工程
  • 11个金属学及工艺
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  • 6个文化科学
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  • 5个生物学
  • 5个动力工程及工...
  • 5个医药卫生
  • 4个建筑科学
  • 4个轻工技术与工...
  • 4个农业科学
  • 3个航空宇航科学...
  • 3个环境科学与工...
  • 3个核科学技术

主题

  • 16个刻蚀
  • 16个反应离子
  • 15个离子刻蚀
  • 15个反应离子刻蚀
  • 15个高深宽比
  • 14个微机电系统
  • 14个微结构
  • 14个光刻
  • 13个微机械
  • 13个DEM技术
  • 12个电磁
  • 12个电磁型
  • 12个电机
  • 12个电铸
  • 11个电磁型微马达
  • 11个掩模
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  • 11个深层刻蚀
  • 10个定子
  • 7个微机械电子系...

机构

  • 18个上海交通大学
  • 5个教育部
  • 2个中国科学院
  • 2个交通大学
  • 1个北京大学
  • 1个名古屋大学
  • 1个北京工业大学
  • 1个清华大学
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  • 1个浙江大学
  • 1个上海大学
  • 1个中国科学院上...
  • 1个立命馆大学

资助

  • 13个国家自然科学...
  • 11个国家高技术研...
  • 10个上海市教育发...
  • 7个上海市科委纳...
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  • 7个教育部“新世...
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  • 4个高等学校科技...
  • 4个国家教育部博...
  • 3个上海市自然科...

传媒

  • 17个微细加工技术
  • 14个第四届全国微...
  • 13个第五届全国微...
  • 10个上海交通大学...
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  • 6个真空科学与技...
  • 5个电子工艺技术
  • 5个强激光与粒子...

地区

  • 17个上海市
  • 1个北京市
共 18 条 记 录，以下是 1-10
陈迪
供职机构：上海交通大学
研究主题：微流控芯片 微机电系统 微电子机械系统 MEMS LIGA技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
毛海平
供职机构：上海交通大学
研究主题：微电感 电感量 微结构 反应离子刻蚀 磁芯材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
倪智萍
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院微米纳米加工技术国家级重点实验室
研究主题：SU-8 微结构 高深宽比 微机电系统 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐敏
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院
研究主题：DEM技术 SU-8 PMMA 高深宽比 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭晓芸
供职机构：上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心
研究主题：微机电系统 反应离子刻蚀 LIGA技术 键合 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨帆
供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院
研究主题：DEM技术 SU-8胶 高深宽比 光刻 毛细管电泳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李以贵
供职机构：上海应用技术学院理学院
研究主题：微细加工技术 微针 压电 MEMS 微机电系统技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞爱斌
供职机构：上海交通大学
研究主题：微泵 形状记忆合金 反应离子刻蚀 微驱动器 微马达
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张卫平
供职机构：上海交通大学
研究主题：微陀螺 电极 陀螺 微机电技术 扑翼
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡炳初
供职机构：上海交通大学
研究主题：微机电系统 MEMS 微机械 形状记忆合金 微驱动器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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