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段广洪

作品数：367 被引量：1,781H指数：23
供职机构：清华大学深圳研究生院更多>>
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汪劲松
供职机构：清华大学
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向东
供职机构：清华大学
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供职机构：清华大学
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尹文生
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张鸣
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研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 位移测量系统 工位
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研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
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牟鹏
供职机构：清华大学
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刘学平
供职机构：清华大学
研究主题：喷嘴 显影 流道 显影液 基台
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杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
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