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孙瑞康
作品数:
11
被引量:11
H指数:2
供职机构:
西北工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
乔大勇
西北工业大学机电学院空天微纳系...
燕斌
西北工业大学机电学院空天微纳系...
李晓莹
西北工业大学机电学院空天微纳系...
虞益挺
西北工业大学机电学院空天微纳系...
李太平
西北工业大学机电学院空天微纳系...
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乔大勇
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 扫描镜 微机械 锚点
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燕斌
供职机构:西北工业大学
研究主题:扫描镜 刻蚀 微机电系统 锚点 微机械
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李晓莹
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微细加工 微变形镜
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虞益挺
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 锚点 光纤
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李太平
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 衍射特性 掩膜版 SOI晶圆 高深宽比
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靳倩
供职机构:西北工业大学
研究主题:掩膜板 SOI晶圆 硅片加工 光衰减器 光开关
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苑伟政
供职机构:西北工业大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机械陀螺 锚点
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燕彬
供职机构:西北工业大学
研究主题:掩膜板 SOI晶圆 硅片加工 键合工艺 微细加工
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