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范文超
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21
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供职机构:
哈尔滨工业大学
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国家科技重大专项
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自动化与计算机技术
电子电信
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合作作者
陈兴林
哈尔滨工业大学航天学院
魏凯
哈尔滨工业大学航天学院
刘杨
哈尔滨工业大学
李宗哲
哈尔滨工业大学
陈震宇
哈尔滨工业大学
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陈兴林
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
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魏凯
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院
研究主题:光刻机 工件台 VXWORKS 同步控制 运动控制卡
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刘杨
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:超精密 光刻机 工件台 物理仿真 气浮
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陈震宇
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:物理仿真 气浮 光刻机 垂向 伺服机构
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李欣
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:物理仿真 处理污水 气浮 伺服机构 三轴气浮台
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李宗哲
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:物理仿真 气浮 垂向 伺服机构 三轴气浮台
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刘帅
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:辐射源信号 阵列信号处理 信号子空间 波达方向 DOA估计方法
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杨旭东
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:组合导航 VXWORKS 板卡 厚度 光刻机
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王伟峰
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:质心 光刻机 物理仿真 调平 三轴气浮台
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张广莹
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院控制科学与工程系
研究主题:光刻机 陀螺仪 系统辨识 神经网络 小波网络
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