徐虎
- 作品数:2 被引量:1H指数:1
- 供职机构:贵州大学更多>>
- 发文基金:贵州省科学技术基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术理学更多>>
- 正交相BaSi_2薄膜的制备及结晶研究被引量:1
- 2014年
- 室温下采用磁控溅射的方法在p-Si(111)衬底上沉积Ba膜,然后置入高真空退火炉中在400~850℃退火12 h生成Ba的硅化物薄膜,对退火后的Ba-Si化合物进行了晶体结构、表面形貌、透射光谱及电学性质的测试分析,研究了退火温度对薄膜结晶的影响。实验结果表明,退火温度对生成Ba-Si化合物及薄膜的表面形貌影响很大,随着退火温度从400℃升高到800℃,薄膜的结晶情况逐渐改善,晶粒随着温度的升高逐渐增大;800℃对于生成多晶的BaSi2薄膜是一个比较理想的退火温度;850℃生成了多相共生的硅化物薄膜。
- 杨子义郝正同徐虎
- 关键词:晶体结构表面形貌透射光谱电学性质
- 反应沉积外延制备Ba_5Si_3及其电子结构研究
- 2015年
- 采用反应沉积外延法在723K的Si(111)衬底上共沉积了的Ba/Si混合膜,通过时间控制得到不同厚度的混合膜,然后真空退火处理。X射线衍射表明在真空中1073K退火12小时后出现了单一的Ba5Si3薄膜。采用第一性原理对Ba5Si3的能带结构进行了计算,带隙宽度为0 e V,表现为金属性质。
- 杨子义徐虎
- 关键词:真空退火第一性原理电子结构