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张俊萍
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
天津理工大学电气电子工程学院
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发文基金:
天津市自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈霞
天津理工大学电气电子工程学院
李杰
天津理工大学电气电子工程学院
陈希明
天津理工大学电气电子工程学院
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天津理工大学
作者
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张俊萍
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陈希明
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李杰
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陈霞
传媒
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天津理工大学...
年份
3篇
2008
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射频磁控溅射制备ZnO基稀磁半导体薄膜工艺研究
随着现代信息技术的发展,稀磁半导体因其独特的性质而备受人们关注,它将自旋和电荷两个自由度集于同一基体,同时具备有磁性材料和半导体材料的特性,在自旋电子学以及光电子领域已经展现出非常广阔的应用前景,比如自旋阀、自旋二极管、...
张俊萍
关键词:
稀磁半导体
半导体薄膜
磁控溅射
文献传递
Cr掺杂浓度对ZnO基稀磁半导体生长结构的影响
被引量:1
2008年
采用射频磁控溅射设备在本征抛光Si(100)衬底上沉积Cr掺杂ZnO薄膜,分析不同掺杂浓度对薄膜的生长结构的影响.分别用XRD、SEM和XRF来表征薄膜的晶相结构、表观形貌和掺杂浓度.实验结果表明,掺杂浓度为2.10%的Zn1-xCrxO薄膜,出现了更好C轴取向性,衍射峰半高宽较窄,样品表面平滑致密,晶粒较大为3.555 nm.
张俊萍
陈希明
李杰
陈霞
关键词:
射频磁控溅射法
Zn_(1-x)Cr_xO稀磁半导体薄膜的制备及磁性研究
被引量:1
2008年
采用磁控交替溅射方法和真空退火处理制备了Zn1-xCrxO薄膜,利用全自动X射线衍射仪和物理性质测量仪对样品的结构、晶粒尺寸及磁性等进行了测量和标度,得到了具有室温磁性的掺Cr的氧化锌基稀磁半导体.
陈霞
陈希明
李杰
张俊萍
关键词:
稀磁半导体
磁控溅射法
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