郝慧娟
- 作品数：22 被引量：44H指数：3
- 供职机构：山东省计算机网络重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山东省自然科学基金山东省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 基于山科PLC的高速灌装线专用控制系统被引量：1
- 2016年
- 针对食品安全、溯源及监管的需求,在已有高速灌装线上加装了基于OmniView的视频检测系统,设计、开发了高速灌装生产线专用控制系统。控制系统应用WINCE Qt 4.7.3,基于山科PLC平台开发,具有包装外观质量检测、不良产品剔除以及生产日期/条码&二维码/批次编码校验等专用功能,实现了灌装、检测的融合。该系统已经在大容量装液体食品无菌砖型纸盒灌装机中应用,满足了灌装线的高速要求,运行稳定、可靠,提升了灌装产品的质量,为产品的整个追溯过程提供了依据。
- 王茂励郝慧娟赵雪孙祥
- 关键词：视频检测系统
- 安全PLC的分析及应用被引量：3
- 2023年
- 工业生产环境日益复杂,受强磁、强电等不稳定因素干扰严重,普通PLC已不能满足实际需要。为保障生产过程的安全、提高复杂工业系统的安全性和可靠性,安全PLC应运而生。本文首先介绍了国内外安全PLC的研究现状,然后论述了安全PLC的系统结构设计,最后针对PLC应用情况的调查,综合国内外的应用情况,指出了安全PLC的不足和未来研究发展的方向。
- 马宗军赵景波胡阵唐勇伟郝慧娟郝慧娟
- 三维结构的邻近效应校正被引量：1
- 2006年
- 针对三维曝光图形的结构特点,结合重复增量扫描方式,分别从水平和深度两个方向进行邻近效应校正。水平方向通过预先建立校正过程中需要的各种规则表,使所需参数可以通过查表获得,快速、准确地实现了邻近效应校正,深度方向的校正则是从吸收能量密度与曝光剂量的关系上考虑。利用SDS-3电子束曝光机完成了校正实验。AFM图显示,邻近效应已大大降低,可满足三维加工精度的要求。所提出的扫描方式和校正方法为电子束曝光的三维加工和邻近效应校正提供了一种新方法。
- 郝慧娟张玉林卢文娟宋会英
- 关键词：图形发生器电子束光刻邻近效应校正
- 基于DSP的电子束曝光机图形发生器控制器
- 可编程DSP芯片是一种具有特殊结构的微处理器,为了达到快速进行数字信号处理的目的,DSP芯片一般采用哈佛结构、流水线操作功能、单周期完成乘法的硬件乘法器、以及一套适合数字信号处理的指令集.由于DSP具有这样的特点,因此适...
- 吴艳平张玉林郝慧娟吕风杰
- 关键词：电子束曝光机图形发生器DSPTMS320VC33
- 文献传递
- STM微位移工作台的遗传神经网络控制技术被引量：2
- 2006年
- 为了提高扫描隧道显微镜微位移工作台的定位精度,提出了一种基于遗传算法的神经网络PID控制方案。微位移工作台以压电陶瓷为驱动器、柔性铰链为导向机构,在分析工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,能够在线调整网络加权值,实时改变PID控制器的系数,减小工作台的位移误差。利用遗传算法的全局搜索能力对BP网络的初始权值进行学习优化,有效消除了神经网络对初始权值敏感和容易局部收敛的缺陷,改善了控制器的控制效果。性能测试表明,12μm阶跃参考输入下的稳态误差从3.24%减小到2.55%,稳态时间从1.7 s缩短到1.1 s。
- 魏强张玉林郝慧娟卢文娟宋会英于欣蕾
- 关键词：电子束扫描隧道显微镜神经网络PID
- 电子束重复增量扫描生成三维结构的研究被引量：2
- 2006年
- 针对三维曝光图形的结构特点,结合自行设计的图形发生器,提出了电子束重复增量扫描方式及曝光剂量与刻蚀深度关系和灵敏度的计算方法.根据计算得到的剂量关系,按照重复增量扫描方式,在SDS-3电子束曝光机上进行了曝光实验,显影后得到了轮廓清晰的梯锥和圆锥的三维结构.因此,重复增量扫描方式可以用于三维结构的加工,并且关于曝光剂量与刻蚀深度关系和灵敏度的计算可以为其提供符合实际曝光的参数.
- 郝慧娟张玉林卢文娟魏强
- 关键词：DSP图形发生器电子束光刻灵敏度
- 扫描隧道显微镜微位移工作台的神经网络PID控制方法研究被引量：12
- 2006年
- 提出了一种基于神经网络理论的微位移工作台控制方案。该工作台以压电陶瓷作为微位移驱动元件,对伺服电机大位移进行位移补偿。分析了压电陶瓷微位移驱动器的原理,建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制,利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变PID控制器的控制系数,减小工作台的位移误差。采用专用的压电陶瓷驱动电源对工作台的位移进行了实验,相对于常规PID控制器,微位移为11.41μm时的响应时间从1.5 s缩短到1 s,稳态位移误差从3.13%减小到1.05%,工作台的稳定性和定位精度得以提高,改善了扫描隧道显微镜的工作性能。
- 魏强张玉林于欣蕾郝慧娟卢文娟
- 关键词：扫描隧道显微镜精密工作台神经网络PID控制自适应控制
- 纳米电子束曝光机图形数据传输研究
- 本文首先介绍了电子束曝光技术以及我国电子束曝光技术的发展状况,然后较为详细的介绍了主要数据处理的三种文件的格式组成、特点以及语法,这三种文件为:DXF文件、DY51文件、CIF文件.本文的主要部分介绍了程序中的格式转换、...
- 郝慧娟
- 关键词：电子束光刻图形数据转换FIFOMSCOMM
- 文献传递
- 基于遗传算法的显影速率参数确定
- 2007年
- 为了更精确地确定显影速率参数,采用基于遗传算法的最小二乘法对显影速率进行拟合,并与Gauss-Newton迭代法进行了比较。结果显示,基于遗传算法的拟合效果更佳,具有较强的鲁棒性,可以用于显影速率参数的确定。该拟合可以为显影模拟、曝光条件的优化提供更精确的参数。
- 郝慧娟张玉林魏强卢文娟
- 关键词：最小二乘法遗传算法
- 扫描隧道显微镜精密工作台的神经网络控制
- 2006年
- 针对目前扫描隧道显微镜超高精度位移的要求,提出了一种基于神经网络的精密工作台控制方案。在分析微位移机构工作原理的基础上,建立了工作台的数学模型。神经网络辨识器在线辨识工作台的机械参数,神经网络自学习PID控制器代替传统PID控制器,实现了样本的在线采集,有效克服了神经网络控制器需要离线训练的缺点。利用BP网络的自学习和自适应能力,实时调整网络加权值,改变控制器的控制系数,增强了系统的实时控制性能。实验结果表明,相对于传统PID控制算法,参考位移量为10μm时,达到稳态值的时间从3.8 s缩短到1.8 s,稳态误差从4.2%减小到1.9%。
- 魏强张玉林于欣蕾郝慧娟卢文娟
- 关键词：扫描隧道显微镜工作台压电陶瓷神经网络
