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连延杰
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电子科技大学
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合作作者
李泽宏
电子科技大学
钱梦亮
电子科技大学
张波
电子科技大学
刘勇
电子科技大学
谭开洲
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一种垂直双扩散金属氧化物半导体器件的制造方法
一种垂直双扩散金属氧化物半导体器件的制造方法,属于半导体工艺制造领域。本发明主要制造步骤包括:N<Sup>+</Sup>衬底的制备,N<Sup>-</Sup>外延生长,栅氧氧化,多晶硅淀积及掺杂,淀积二氧化硅,刻出多晶硅...
李泽宏
钱梦亮
连延杰
张波
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非均匀沟道MNOS总剂量辐射效应
分析了非均匀沟道MNOS结构器件总剂量辐射效应,建立了MNOS的总剂量辐射阈值电压变化公式。辐射情况下,分析不同的二氧化硅厚度对非均匀沟道MNOS结构阈值电压的影响。结果表明,非均匀沟道MNOS的二氧化硅厚度为12nm时...
连延杰
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一种VDMOS器件
一种VDMOS器件,属于半导体功率器件技术领域。本发明在传统的VDMOS器件结构中引入一层掺杂层:对于N沟道VDMOS器件而言,该掺杂层为位于P型基区(5)和N<Sup>-</Sup>漂移区(6)之间的N<Sup>+</...
李泽宏
连延杰
钱梦亮
张波
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一种垂直双扩散金属氧化物半导体器件的制造方法
一种垂直双扩散金属氧化物半导体器件的制造方法,属于半导体工艺制造领域。本发明主要制造步骤包括:N<Sup>+</Sup>衬底的制备,N<Sup>-</Sup>外延生长,栅氧氧化,多晶硅淀积及掺杂,淀积二氧化硅,刻出多晶硅...
李泽宏
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