张宇星
- 作品数：9 被引量：18H指数：3
- 供职机构：东南大学更多>>
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- 相关领域：电子电信建筑科学经济管理更多>>
- 多晶硅薄膜热膨胀系数在线测试结构的设计与模拟
- 本文就MEMS薄膜材料热膨胀系数的在线检测结构做了具体的研究和分析。利用已有单弯梁结构与级联弯梁结构设计出两种能够满足以上所有要求的多晶硅薄膜热膨胀系数在线检测结构，并给出了两种结构的热—电—机械耦合解析模型。其中级联弯...
- 张宇星
- 关键词：微机电系统热膨胀系数在线检测
- 文献传递
- 城镇生态空间理论——扬州城镇群空间发展研究
- 该文提出了城镇生态空间的概念,并深入研究了城镇生态空间运行、生长和进化发展的基本规律,总结出一些基本原理和研究方法,从不同尺度对空间——经济——人及空间——时间的耦合特性作了分析,用过程、动态、整体和进化等观念去考察城镇...
- 张宇星
- 关键词：空间异质性
- 测量多晶硅薄膜热膨胀系数的测量结构及其测量方法
- 测量多晶硅薄膜热膨胀系数的测量结构及其测量方法是基于表面加工工艺的多晶硅薄膜热膨胀系数的在线检测结构，该结构由一个多晶硅双直梁结构以及两个多晶硅弯梁结构构成，在直梁的中间部分镀有铝膜，多晶硅弯梁结构由两个相同的弯梁组成，...
- 黄庆安张宇星李伟华
- 文献传递
- 南京居住区形态初探
- 张宇星
- 城镇生态空间理论
- 张宇星
- 新型多晶硅薄膜热膨胀系数在线测试结构被引量：5
- 2005年
- 提出了一种新型多晶硅薄膜热膨胀系数的在线测试结构.给出了热电机械耦合模型和测试方法、结构参数设计的优化方案及误差分析,并利用ANSYS软件进行模拟.该结构测量方便,独立性较高,误差较小,用电学量形式输出,对于薄膜热膨胀系数的在线检测有较高的参考价值.
- 张宇星黄庆安李伟华
- 关键词：MEMS多晶硅热膨胀系数在线检测
- 测量多晶硅薄膜热膨胀系数的测量结构及其测量方法
- 测量多晶硅薄膜热膨胀系数的测量结构及其测量方法是基于表面加工工艺的多晶硅薄膜热膨胀系数的在线检测结构，该结构由一个多晶硅双直梁结构以及两个多晶硅弯梁结构构成，在直梁的中间部分镀有铝膜，多晶硅弯梁结构由两个相同的弯梁组成，...
- 黄庆安张宇星李伟华
- 文献传递
- 微机械薄膜热膨胀系数的测试结构
- 在微电子机械系统(MEMS)领域,薄膜的热膨胀系数对于微电子器件、MEMS器件,尤其是微热执行器的设计是一个十分重要的参数.本文详细介绍和分析了薄膜热膨胀系数的几种测试结构,对于微机械薄膜热膨胀系数在线测试结构的设计有一...
- 张宇星黄庆安李伟华
- 关键词：热膨胀系数微电子机械系统
- 文献传递
