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陈鲁

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学技术大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇汞灯
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻机
  • 2篇光刻系统
  • 2篇光源
  • 2篇光源系统
  • 2篇光子
  • 2篇光子器件
  • 2篇辐照强度

机构

  • 2篇中国科学技术...

作者

  • 2篇汪波
  • 2篇胡继刚
  • 2篇张斗国
  • 2篇陈鲁
  • 2篇陈漪恺
  • 2篇明海
  • 2篇王向贤

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种基于紫外LED光源的光刻机
本实用新型公布了一种基于紫外LED光源的光刻机，其结构包括实现光束均匀辐照曝光的紫外LED光源光学系统，控制曝光时间和相对辐照强度的发光控制器，光栏，光刻掩模板和光刻基片，该光刻机可采用接触式或接近式曝光。本实用新型结构...
王向贤明海张斗国胡继刚陈鲁汪波陈漪恺
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一种基于紫外LED光源的光刻机
本发明公布了一种基于紫外LED光源的光刻机，其结构包括实现光束均匀辐照曝光的紫外LED光源光学系统，控制曝光时间和相对辐照强度的发光控制器，光栏，光刻掩模板和光刻基片，该光刻机可采用接触式或接近式曝光。本发明结构简单，与...
王向贤明海张斗国胡继刚陈鲁汪波陈漪恺
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