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庄春泉

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：云南师范大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇电池
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体增强
  • 1篇等离子体增强...
  • 1篇电极
  • 1篇元素磷
  • 1篇太阳能电池
  • 1篇污染
  • 1篇污染程度
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇基板
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇硅基
  • 1篇硅基薄膜
  • 1篇硅锗
  • 1篇非晶硅
  • 1篇非晶硅薄膜
  • 1篇非晶硅薄膜太...
  • 1篇薄膜电池

机构

  • 2篇云南师范大学

作者

  • 2篇庄春泉
  • 2篇杨培志
  • 2篇褚君浩
  • 1篇杨雯
  • 1篇刘黎明
  • 1篇莫镜辉

年份

  • 2篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种制备nip结构非晶硅薄膜太阳能电池的方法
本发明公开了一种采用箱体式等离子体增强化学气相沉积设备制备nip结构硅基薄膜电池的方法，涉及真空镀膜方法领域，主要解决制备nip结构电池的技术方法中由于无法彻底冲洗掺杂元素磷而导致残余磷元素对本征i层产生影响的问题。一种...
杨培志庄春泉褚君浩
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一种用箱体式PECVD设备制备非晶硅锗薄膜电池的方法
本发明解决了在制备非晶硅锗薄膜电池组件过程中因气体在基板上下端分解速度和分解量不同，而出现所制备的非晶硅锗薄膜中玻璃基板上锗组份含量不均匀、影响电池组件性能的问题，提供一种通过对产生等离子体场的部分电极的结构进行了设计改...
杨培志庄春泉褚君浩杨雯莫镜辉刘黎明
文献传递
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