朱霞高
- 作品数：42 被引量：61H指数：5
- 供职机构：广州有色金属研究院更多>>
- 发文基金：广东省技术创新更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺理学电子电信更多>>
- CrTiAlCN多元多层梯度膜的制备及其结构被引量：6
- 2009年
- 采用中频反应磁控溅射、离子束辅助方法沉积CrTiAlCN多元硬质薄膜,利用扫描电镜、俄歇电子谱、透射电镜及X射线衍射等技术对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:沉积制备的膜层为多层梯度过渡结构,成分深度分布及相结构分析证实,所制备的多元多层梯度膜与所设计的基体/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN结构相吻合;在梯度过渡中,不同层之间界面体现为渐变过渡过程;沉积制备的多元多层梯度膜硬度高达26.31GPa,膜/基结合力大于80N,摩擦因数低至0.113,力学性能优良。
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- 关键词：磁控溅射离子束辅助
- 表面改性新技术在模具上的应用
- 综述了模具表面改性的新技术，包括了化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相沉积(PCVD)、物理气相沉积(PVD)等。重点介绍了在模具上沉积类金刚石(DLC)膜的方法、性能。
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- 关键词：表面改性类金刚石
- 文献传递
- Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN多元多层薄膜在微型钻头上的应用性能被引量：2
- 2010年
- 为了提高微电子线路板(PCB)加工用微型钻头的使用寿命及保证钻孔质量,采用中频反应磁控溅射、离子束辅助的方法分别在WC硬质合金和微型钻头上沉积了Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN多元多层梯度硬质薄膜,研究了多层膜的结构、形貌及钻削性能。结果表明:在WC硬质合金上沉积的多层膜显微硬度为2631HV,膜/基结合力大于80N,摩擦系数为0.113;镀膜后微钻刃型完好,刃型角度没有改变,同一钻头不同部位沉积的膜层厚度一致;微钻镀膜后使用寿命提高1倍以上,且解决了断针、批锋、塞孔等问题,同时满足孔位精度、孔壁粗糙度等技术要求。
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- 关键词：磁控溅射微型钻头
- 微型钻头表面强化超硬自润滑多元涂层的研究
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- 采用多种技术结合(包括离子源、非平衡磁控溅射、中频电源、阴极电弧等技术)的手段制备超硬自润滑多元薄膜。利用离子源离化出氩离子直接轰击工件，使工件露出新鲜的表面，然后，在高偏压条件下进行短时间阴极电弧金属离子轰击后，利用非...
- 关键词：
- 关键词：类金刚石膜钻头
- 金属碳化物/类金刚石(MeC/DLC)纳米多层膜材料及其制备方法
- 一种金属碳化物/类金刚石(MeC/DLC)纳米多层膜材料及其制备方法。纳米多层膜材料依次由基材(1)、过渡层I和纳米多层膜层II构成，过渡层I由金属层(2)、金属氮化物层(3)、金属碳氮化物层(4)构成，纳米多层膜层II...
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- 文献传递
- RF-PCVD制备无色透明类金刚石保护膜的研究
- 本文在传统RF-PCVD的设备上采用磁约束增强技术,在玻璃上低温沉积（＜150℃）出优质无色透明类金刚石保护膜（Diamond-like Carbon,DLC）。膜/基可见光透光率高（＞90%）,有相当高的硬度（Hv9-...
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- 关键词：无色透明类金刚石膜
- 选择合理涂层提高模具的使用寿命被引量：1
- 2006年
- 对常用模具钢的热处理工艺、表面强化处理作了简单叙述。着重叙述了常用于模具的镀膜涂层的性能与用途。
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- 关键词：使用寿命
- 掺钛类金刚石膜的微观结构研究被引量：13
- 2007年
- 采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在模具钢及单晶硅基体上制备了梯度过渡的掺钛类金刚石(Ti-DLC)膜层,利用俄歇电子谱(AES)、透射电镜(TEM)、X射线光电子能谱(XPS)及X射线衍射(XRD)等手段对膜层的过渡层、界面及微观结构进行研究。结果表明:制备的膜层成分深度分布与所设计的基体/Ti/TiN/TiCN/TiC/Ti-DLC相吻合,在梯度过渡中不同膜层之间界面体现为渐变过程,结合非常良好;少量的Ti主要以纳米晶TiC的形式掺入到非晶DLC膜当中;所制备的膜层具有厚2.9μm、硬度高达25.77 GPa、膜/基结合力44 N-74 N。
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- 关键词：微观结构离子源非平衡磁控溅射
- 离子束辅助中频反应溅射(Cr,Ti,Al)N薄膜的研究
- 为了提高工模具的服役性能,采用中频反应溅射,无灯丝离子源辅助的方法沉积了(Cr,Ti,Al)N多元硬质薄膜。分别用电子能谱、X-射线衍射、显微硬度计、划痕仪和干涉显微镜分析了薄膜的成分、相组成、硬度、膜／基结合力及膜层厚...
- 林松盛代明江侯惠君朱霞高李洪武林凯生戴达煌
- 关键词：离子束辅助
- 文献传递
- 物理气相沉积硬质薄膜及在机械功能领域上的应用
- 材料的磨损、腐蚀及其它环境损伤是机械工业面临的基本问题之一，近年来，由离子参与和等离子体增强的各种气相沉积技术为解决这一问题提供了有效的途径。物理气相沉积(PVD)是制备硬质薄膜的主要方法之一，许多技术已实现工业化生产。...
- 代明江林松盛侯惠君李洪武朱霞高林凯生
- 关键词：物理气相沉积硬质薄膜工模具等离子体增强
- 文献传递
