赵磊
- 作品数：118 被引量：145H指数：9
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程电子电信自动化与计算机技术交通运输工程更多>>
- 光刻物镜中光学元件高精度支撑结构
- 光刻物镜中光学元件高精度支撑结构，属于深紫外投影光刻物镜结构设计与像差补偿领域，为解决光刻物镜中光学元件高精度支撑问题，本发明结构包括镜框和整体弹片，所述整体弹片与镜框之间通过若干螺钉固定；所述镜框内环周向均匀分布三处径...
- 赵磊巩岩于新峰彭海峰
- 气动光学变形镜系统的控制方法
- 气动光学变形镜系统的控制方法，属于超精密光学应用控制领域。该方法先拟合系统开环情况下稳定时的输入和输出数据的线性关系，确定前馈控制器的前馈系数；然后根据该系统的期望位移计算前馈控制器的输出量；然后比较期望位移与位移传感器...
- 李朋志李佩玥赵磊东立剑葛川隋永新杨怀江
- 光刻物镜主动变形镜像差补偿分析
- 2015年
- 为补偿光刻物镜由不均匀照明引入的Z5像散,设计了一种主动变形镜,并分析该主动变形镜的像散补偿性能。利用有限元分析方法,建立主动变形镜的有限元模型,得到主动变形镜调节能力、刚体位移误差、固有频率及最大应力等性能。结果表明,主动变形镜在50 N驱动力作用下可以实现镜片表面面形均方根(RMS)837 nm Z5像散补偿,伴随产生的镜片表面高阶像差仅为RMS 1.124 nm,三个方向刚体平移仅为0.49、0.52、0.13 nm,三个方向的刚体旋转仅为2.21、1.73、1.10 ms,主动变形镜一阶固有频率达到2555 Hz,最大应力为0.852 MPa,满足光刻物镜像散补偿需求。
- 东立剑赵磊张德福于新峰倪明阳李显凌
- 关键词：成像系统主动光学像散补偿有限元分析
- 一种水气比分区精准可控的集成化高速喷雾冷却装置
- 本发明公开了一种水气比分区精准可控的集成化高速喷雾冷却装置，属于热处理设备技术领域。水气比分区精准可控的集成化高速喷雾冷却装置，包括控制装置，控制装置设置在喷雾器的下方，对喷雾器的水气比进行分区调控；控制装置包括壳体，壳...
- 郑凯伦陈亚豪张人友徐睿郭子闻赵磊
- 一种像散变形镜装置
- 一种像散变形镜装置属于光学系统的系统像差补偿领域，目的在于解决现有技术存在的加工制造困难和引入刚体位移大的问题。本发明包括光学元件、可变形镜框、四个致动器、四个位移传感器、上固定板和下固定板；光学元件与可变形镜框之间通过...
- 赵磊刘震宇谢军杨怀江隋永新张巍
- 基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置
- 基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置属于精密微动调整与检测领域，目的在于解决现有技术存在的测量的重复定位精度差和长期稳定性差的问题。本发明包括调整架、压电驱动器和标定基准组件；所述压电驱动器固定在所述调整架...
- 赵磊杨怀江隋永新张德福
- 高精度物镜波纹管致动器的线性度分析
- 2011年
- 采用有限元方法对高精度物镜波纹管致动器的几何非线性变形进行了分析,并引入线性度对波纹管致动器的性能进行了评估.通过有限元方法分析了常见的U型、S型、C型、方型及三角型波纹管的几何非线性变形,并结合最小二乘法,得到了上述各种波纹管致动器的行程及线性度.计算结果表明:在设计大行程波纹管致动器时,S型波纹管的线性度最好,为0.161%;而在设计小行程波纹管致动器时,三角形波纹管的线性度最好,为0.135%.
- 袁文全巩岩张巍王学亮倪明阳赵磊
- 关键词：气动波纹管有限单元法
- 光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置
- 光刻投影物镜系统中光学元件的轴向宏微调节装置，涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域，为解决现有光学元件轴向调整装置存在的调整行程小，存在倾斜误差的问题，该装置包括电容传感器、镜框、宏微调节机构和导向导轨，电容传感...
- 彭海峰巩岩倪明阳赵磊秦硕
- 一种用于光学测量的积分球装置
- 一种用于光学测量的积分球装置，涉及光学测量技术领域，它解决现有积分球装置结构的对称性差、光源发热控制不力和采样口通光量不可调节的问题，本发明装置的第一半积分球球壳与第二半积分球球壳紧固在一起形成一个空心球壳；中心挡光板固...
- 巩岩倪明阳赵磊张巍王学亮袁文全
- 一种四叶像差变形镜装置
- 一种四叶像差变形镜装置属于光学系统的系统像差补偿领域，目的在于解决现有技术存在的难以检测弹片位移量和引入的刚体位移大的问题。本发明包括光学元件、可变形镜框、八个致动器、八个位移传感器、上固定板和下固定板；光学元件与可变形...
- 刘震宇赵磊谢军杨怀江隋永新张巍
