靳琳
- 作品数：12 被引量：4H指数：1
- 供职机构：吉林大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中央级公益性科研院所基本科研业务费专项吉林省青年科研基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程理学一般工业技术更多>>
- 聚合物波导形貌的等离子体刻蚀工艺优化研究
- 反应离子刻蚀和感应耦合等离子体刻蚀是硅基聚合物波导常用的制备工艺。本文以脊形波导为研究对象，利用扫描电子显微镜和原子力显微镜对比两种不同方法的刻蚀效果，系统分析了感应耦合等离子体刻蚀工艺中源功率、偏置功率、刻蚀腔室压强以...
- 孟杰张琨赵帅曹子谏靳琳孙小强张大明
- 聚合物光波导的等离子体刻蚀工艺研究
- 在聚合物集成光学器件制备过程中，等离子体干法刻蚀制备光波导是一项关键工艺。本文针对聚合物脊形结构波导进行电感耦合等离子体(ICP)各向异性刻蚀的研究，研究了不同刻蚀参数(源功率、偏置功率、刻蚀腔室压强以及气体配比)下IC...
- 孟杰曹子谏靳琳张大明
- 关键词：ICP刻蚀聚合物波导各向异性粗糙度
- 极化聚合物加载条形光波导的制备研究
- 本文利用溶胶凝胶法合成了有机/无机杂化电光材料，采用光刻、湿法刻蚀、蒸镀铝膜等平面光波导制作工艺，制备了加载条形结构的极化聚合物分束器和3×3多模干涉光波导，并成功进行了近场输出光斑测试。
- 康彩萍孙小强高磊郑红丽陈长鸣靳琳王菲张大明
- 关键词：聚合物光波导多模干涉湿法刻蚀
- 文献传递
- 农户金融排除影响因素研究——以东北三省地区为例
- 虽然“三农”问题自十六大提出已八年有余，一系列关乎农民民生的惠农、利农政策不断提出，在一定程度上支持了农村金融的发展，但我国农户仍没有摆脱金融排除的状态，甚至在一些地区，金融排除的情况在加剧。农村金融体系对于资金的供应量...
- 靳琳
- 关键词：金融排除PROBIT
- 极化聚合物高速电光开关CPw行波电极的基础研究
- 本论文针对极化聚合物电光开关CPW(Coplanar Waveguide)行波电极进行了研究，详细分析了共面波导行波电极的各性能参数与其金属材料和各尺寸之间的关系，最终设计了以Al和Cu作为电极金属材料的CPW行波电极。...
- 孟杰靳琳曹子谏张大明
- 关键词：电光开关行波电极极化聚合物
- 有机聚合物电光调制器的电极研究
- 本论文详细的阐述了电光调制器的类型和基本原理,重点研究了Mach-Zehnder电光调制器的共面波导(CPW)行波电极系统。通过对电极系统互作用区微波特性阻抗的分析,和对中心电极宽度、中心电极和地电极间距及电极厚度等对特...
- 靳琳
- 关键词：电光调制CPW剥离法
- 文献传递
- 硅基高分子聚合物光开关研究
- 十二五期间，中国已经将三网融合上升为国家战略，这将给整个通信行业带来重大商机。三网融合的推进必须以宽带网络的建设为基础，电信宽带光纤到户作为十二五期间的重点专项将占有1600亿元人民币以上的投资额度。这对网络设备制造商是...
- 靳琳
- 关键词：电光开关热光开关平面光波回路
- 文献传递
- 聚合物光波导的等离子体刻蚀工艺研究
- 在聚合物集成光学器件制备过程中,等离子体干法刻蚀制备光波导是一项关键工艺。本文针对聚合物脊形结构波导进行电感耦合等离子体（ICP）各向异性刻蚀的研究,研究了不同刻蚀参数（源功率、偏置功率、刻蚀腔室压强以及气体配比）下IC...
- 孟杰曹子谏靳琳张大明
- 关键词：ICP刻蚀聚合物波导各向异性粗糙度
- 文献传递
- 聚合物光波导的等离子体刻蚀工艺研究被引量：3
- 2011年
- 等离子体干法刻蚀是聚合物光波导制备过程中一项关键工艺.利用感应耦合等离子体各向异性刻蚀工艺制备了聚合物脊形结构波导,研究了不同工艺参量(源功率、偏置功率、刻蚀腔室压强以及气体组分)对脊形波导刻蚀速率的影响.利用扫描电子显微镜对刻蚀后波导高度、侧壁垂直度及表面粗糙度进行分析,得到了高刻蚀速率和低粗糙度的优化工艺条件.实验结果表明:在其他工艺条件相同的情况下,刻蚀速率随着感应耦合等离子体源功率及偏置功率的增大而增加,随刻蚀腔室压强的增大而减小,随着Ar在O2/Ar混合气体中百分比的增大而先增大后减小.样品表面粗糙度会随着偏置功率及刻蚀腔室压强的增大而逐渐增加.在源功率350W,偏置功率50W,刻蚀腔室压强0.5Pa,O2/Ar流量配比40sccm/10sccm的条件下得到了侧壁陡直和表面平整的脊形聚合物光波导.
- 孟杰曹子谏靳琳孙小强张大明
- 关键词：ICP刻蚀聚合物波导各向异性刻蚀速率
- 基于KH560修饰的有机/无机杂化材料电光波导制备被引量：1
- 2011年
- 利用溶胶-凝胶法制备了硅烷偶联剂KH560修饰的有机/无机杂化电光材料,分析了KH560的水解缩合的反应机理.对制备好的电光薄膜进行了表面形貌、折射率和电光特性的表征,并用反射法测量得出了该材料的电光系数为3.5pm/V.针对这种材料柔韧的特性,设计了上加载条形电光波导,并利用Opti-BPM软件模拟了二维和三维光场.摸索了其制备的加工工艺,制备了该结构的光波导,最后得到了这种波导的近场输出.
- 王希斌曹子谏靳琳任殿福张大明
- 关键词：电光效应
