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贺凡

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供职机构：深圳先进技术研究院更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇电热
  • 1篇电热丝
  • 1篇烧断
  • 1篇组件
  • 1篇组件结构
  • 1篇溅射
  • 1篇靶材
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇香港中文大学
  • 1篇深圳先进技术...

作者

  • 1篇肖旭东
  • 1篇贺凡

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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磁控溅射设备
本实用新型涉及一种磁控溅射设备，包括衬底、靶材以及加热灯组件；所述靶材与衬底相对，所述加热灯组件为两组，对称设置在所述靶材的两侧，对所述衬底进行加热。本实用新型使用加热灯组件对衬底进行加热，取代电热丝，从而避免电热丝短路...
贺凡肖旭东刘壮陈昊
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