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蔡芳芳
作品数:
3
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
范海波
中国科学院半导体研究所
张攀峰
中国科学院半导体研究所
刘祥林
中国科学院半导体研究所
魏鸿源
中国科学院半导体研究所
杨安丽
中国科学院半导体研究所
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蔡芳芳
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人工晶体学报
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2009
2篇
2008
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氧化锌材料的MOCVD生长及物性研究
第三代宽禁带半导体材料氧化锌(ZnO),是近年来继GaN以后光电领域新的研究热点。ZnO在室温下的禁带宽度为3.37eV,室温下激子束缚能高达60meV,具有很好的热稳定性和化学稳定性。这些优良的光电性质及物理性质使Zn...
蔡芳芳
载气流量对氧化锌纳米棒阵列的影响(英文)
2008年
本文研究了在金属有机化学气相沉积法(MOCVD)生长过程中,锌(Zn)源和氧(O)源载气流量的改变对ZnO纳米棒阵列的影响。通过改变源材料载气的流量,得到了直径从150nm到20nm范围、均一性明显改善的ZnO纳米棒。采用扫描电子显微镜(SEM),X射线衍射图谱(XRD),拉曼光谱(Raman)和光致荧光光谱(PL)等测试手段对样品的形貌结构和光学特性进行了表征。SEM和XRD结果表明当Zn源和O源的载气流量均为1SLM时,所得的纳米棒直径最均匀,排列整齐,垂直于衬底生长,且结晶度最好。PL谱显示纳米棒的紫外带边峰发生了蓝移,可能与表面效应的增加有关。
蔡芳芳
魏鸿源
范海波
杨安丽
张攀峰
刘祥林
关键词:
氧化锌纳米棒
MOCVD
形貌
利用p型掺杂的硅衬底生长高结晶质量氧化锌纳米棒的方法
一种利用p型掺杂的硅为衬底生长氧化锌纳米棒的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:选取一硅衬底;步骤2:在硅衬底(111)晶面上采用金属有机物化学气相沉积的方法生长氧化锌纳米棒;步骤3:将得到的氧化锌纳米棒样品静置在反...
蔡芳芳
范海波
张攀峰
刘祥林
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