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刘金虎

作品数：29 被引量：4H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术金属学及工艺电气工程文化科学更多>>

合作作者

题名
作者

文献类型

  • 26篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 8篇自动化与计算...
  • 6篇金属学及工艺
  • 2篇化学工程
  • 2篇电气工程
  • 2篇文化科学
  • 1篇矿业工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇农业科学

主题

  • 12篇芯片
  • 5篇进样
  • 4篇溶剂残留
  • 4篇热塑性
  • 4篇微通道
  • 4篇键合
  • 4篇核酸
  • 4篇合金
  • 4篇传感
  • 3篇等离子体
  • 3篇流体
  • 3篇纳米
  • 3篇纳米线
  • 3篇金属
  • 3篇扩增
  • 3篇核酸扩增
  • 3篇感器
  • 3篇传感器
  • 2篇导电
  • 2篇导电材料

机构

  • 25篇中国科学院微...
  • 5篇北京科技大学

作者

  • 29篇刘金虎
  • 22篇李超波
  • 18篇解婧
  • 13篇范涛
  • 4篇林均品
  • 4篇梁永锋
  • 4篇郜晨希
  • 3篇夏洋
  • 2篇刘邦武
  • 2篇杨进
  • 2篇屈芙蓉
  • 2篇夏洋
  • 1篇张庆钊
  • 1篇王文东
  • 1篇汪明刚
  • 1篇钟思华
  • 1篇张有茶
  • 1篇李勇滔
  • 1篇沈泽南
  • 1篇刘杰

传媒

  • 1篇太阳能学报
  • 1篇热喷涂技术

年份

  • 11篇2024
  • 2篇2023
  • 7篇2022
  • 1篇2021
  • 4篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 29 条 记 录，以下是 1-10
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一种纳米线压力传感器制备方法
本发明实施例提供的一种纳米线压力传感器制备方法，所述方法包括：获取有机材料基底；根据需要获取的纳米线阵列结构，在所述基底上制备凹槽阵列；在所述凹槽阵列中填充导电材料，形成纳米线阵列；其中，所述纳米线阵列中包含多个纳米线单...
解婧李超波邢建鹏林琳刘金虎刘瑞琪郜晨希
一种电子束选区熔化TiAl合金及制备方法
本发明提供一种电子束选区熔化TiAl合金及其制备方法，涉及发动机材料设计及制备的技术领域。所述电子束选区熔化TiAl合金的厚度为1‑50mm，化学成分按质量百分比计为：Al 43‑46at%，Nb 2‑8at%，Mo 0...
梁永锋刘金虎林均品卢东
一种TiAl合金叶片高温真空热处理的防变形工装及安装方法
本发明提供一种TiAl合金叶片高温真空热处理的防变形工装及安装方法，涉及TiAl合金叶片的技术领域。所述防变形工装包括容纳叶身的筒体结构与内部石棉、石英砂的多层保护支撑结构；其中：所述筒体结构包括筒壁和筒底，筒壁和筒底有...
林均品刘金虎梁永锋卢东
一种提高金属微电铸均匀性的方法
本说明书实施例提供了一种提高金属微电铸均匀性的方法，方法包括：基于光刻技术，根据基底上阴极的位置，在电流密度不均匀区域，制备辅助阴极；所述辅助阴极为环形，环绕所述阴极设置，且覆盖所述电流密度不均匀区域，所述电流密度不均匀...
王欢解婧 邢建鹏范涛刘金虎李超波
一种电镜液体芯片进样装置
本发明公开了一种电镜液体芯片进样装置，涉及电子科学与技术领域，包括用于固定密封待测液体芯片的内夹具和用于固定密封所述内夹具的外夹具；其中，所述内夹具包括第一底板和第一盖板，所述第一底板上设有限位槽和芯片槽，所述第一盖板上...
赵冬冬李超波刘金虎
核酸扩增芯片及其制备方法、核酸扩增装置
本发明公开了一种核酸扩增芯片及其制备方法、核酸扩增装置，该核酸扩增芯片包括：微流控结构和控温单元。其中，微流控结构包括进样通道、扩增流道以及出样通道，进样通道、扩增流道以及出样通道依次连通。控温单元设置在微流控结构上，用...
解婧孙大鹏刘金虎范涛王欢邢建鹏李超波
刻蚀腔室内衬用抗等离子体腐蚀涂层的研究现状被引量：2
2014年
干法刻蚀(等离子体刻蚀)技术产生的等离子体会对半导体制造工艺以及微电子IC制造工艺中的刻蚀腔室内衬产生腐蚀。本文综述了国内外腔室防等离子体腐蚀用材料的发展历程与现状,从耐等离子体刻蚀材料、悬浮液等离子喷涂技术和在线监测技术领域的发展展望了抗等离子体刻蚀涂层的未来发展趋势。
张有茶夏洋贾永昌张庆钊王文东刘金虎王聪瑜
关键词：等离子体刻蚀在线监测
一种电镜液体芯片进样装置
本发明公开了一种电镜液体芯片进样装置，涉及电子科学与技术领域，包括用于固定密封待测液体芯片的内夹具和用于固定密封所述内夹具的外夹具；其中，所述内夹具包括第一底板和第一盖板，所述第一底板上设有限位槽和芯片槽，所述第一盖板上...
赵冬冬李超波刘金虎
等离子体浸没离子注入机开发与应用
夏洋李超波刘邦武李勇滔汪明刚刘金虎
该成果属于先进制造与重大装备、新能源、材料科学技术等领域。成果建立了一台等离子体浸没注入原理研究系统，针对32nm以下节点超浅结注入工艺的技术特点，研开发了等离子体浸没超低能离子注入原理样机，解决了5nm以下尺寸平面超浅...
关键词：
关键词：等离子体太阳能电池
一种热塑性芯片的键合方法
本发明提供了一种热塑性芯片的键合方法，属于芯片键合技术领域，所述方法包括：通过溶剂键合的方式将两块热塑性芯片进行预键合，获得预键合体；将所述预键合体进行加压并浸没于40～80℃的水中，在0.5～5MPa压力下进行水浴键合...
王欢解婧邢建鹏范涛刘金虎宋宏岩李超波
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