王永光
- 作品数：72 被引量：97H指数：6
- 供职机构：苏州大学机电工程学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金江苏省自然科学基金国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- 氮化镓晶片的化学机械抛光工艺被引量：6
- 2020年
- 研究了抛光工艺参数对氮化镓(GaN)化学机械抛光(CMP)表面形貌和材料去除率的影响。通过精密分析天平和原子力显微镜对其材料去除率和表面形貌进行分析,采用单因素及正交实验法探究压力、抛光盘转速和氧化剂浓度对GaN材料去除率和表面形貌的影响。结果表明:在下压力为14.1×104 Pa、抛光盘转速为75 r/min、H2O2浓度为0.8%、SiO2磨粒为30%、抛光液流量为20 mL/min、抛光时间为15 min的条件下,GaN晶片表面材料去除率最大达到103.98 nm/h,表面粗糙度最低为0.334 nm。可见,在优化后的工艺参数下采用化学机械抛光,可同时获得较高的材料去除率和高质量的GaN表面。
- 钮市伟陈瑶王永光寇青明朱玉广
- 关键词：GAN化学机械抛光材料去除率正交法
- 基于多重分形谱的裂纹特征表征方法及系统
- 本发明涉及一种基于多重分形谱的裂纹特征表征方法及系统，方法包括获取裂纹图像，对裂纹图像进行预处理，得到预处理后的裂纹图像；对预处理后的裂纹图像进行分割，获得子图像；构建子图像的多重分形谱，根据多重分形谱的奇异性指数、多重...
- 郭浩谢尚建邵长旭齐菲石一凡陈靖宇许承海陈涛王永光王善翔
- 文献传递
- 一种常温固化无机涂料、其制备方法及涂层工件
- 本发明提供一种常温固化无机涂料，包括A组分和B组分；所述A组分包括：50～65重量份的金属磷酸盐粘结剂；33～42重量份的三氧化二铝；2～8重量份的磷酸二氢锰；0～2重量份的氧化石墨烯；所述B组分包括：50～65重量份的...
- 王永光刘雅玄赵栋赵永武陈瑶卞达齐菲
- 一种非粘结柔性立管的分析方法和系统
- 本发明涉及一种非粘结柔性立管的分析方法和系统，方法包括：构建非粘结柔性立管的数值模型；根据内、外抗拉铠装层是否结构失效确定非粘结柔性立管的数值模型的最大轴向承载能力；为实现非粘结柔性立管的截面力学性能分析，对非粘结柔性立...
- 刘庆升曲中源刘晓雅刘义王刚冯铄媛王传洋王永光倪俊芳
- 船用独立式应急灯具的设计
- 2014年
- 船用照明,特别是应急照明系统是十分重要的部分。对于紧急情况下船舶的能动性,保证船员生命安全方面具有举足轻重的重要意义。船用独立应急灯具因其使用环境复杂,部分使用位置的电压、频率等主要环境参数受周围电器负载干扰因素较大。某些特殊位置,例如轮机舱等舱位,温度环境也会比较恶劣。因此,如何选用合适的电池组及应急装置以保证船用独立应急灯具在各种恶劣环境下的稳定可靠,是设计过程中必需要注意的部分。文章论述了船用独立应急灯具在应急电器选配及设计过程中各种注意事项。
- 王永光钱志良
- 关键词：应急装置镍镉电池镍氢电池
- 一种膨胀石墨复合材料吸波涂层的制备方法
- 本发明公开了一种膨胀石墨复合材料吸波涂层的制备方法，包括以下步骤：S1、将钴盐、镍盐溶于溶剂中，搅拌后加入偶联剂，得到第一混合液；S2、将膨胀石墨溶液与第一混合液混合，真空抽滤，得到第二混合液；S3、在第二混合液中加入丁...
- 赵栋孙明磊张凤草刘鑫王明娣王永光陈瑶
- GO-TiO_(2)对磷酸盐粘结涂层耐磨损性能的影响被引量：4
- 2021年
- 目的提高磷酸盐粘结涂层的耐磨损性能。方法以3-氨基丙基三乙氧基硅烷为纽带,制备氧化石墨烯-二氧化钛复合材料(GO-TiO_(2)),并作为增强相加入涂层中。通过SEM和FTIR,对GO-TiO_(2)的微观结构和官能团进行表征,采用维氏硬度计对涂层显微硬度进行测量,利用摩擦磨损试验机测试涂层的摩擦学行为,采用白光干涉仪和SEM对涂层磨痕微观结构进行表征。结果二氧化钛和氧化石墨烯通过化学键连接在一起,且由于二氧化钛的存在,氧化石墨烯表面变得粗糙,从而加强机械啮合作用,提高了涂层其他组分与氧化石墨烯的界面结合力。随着GO-TiO_(2)的加入,涂层的显微硬度增加。未添加GO-TiO_(2)涂层的显微硬度为207.4HV0.3,添加1.0%(质量分数)GO-TiO_(2)时,涂层的显微硬度增加至260.4 HV0.3。涂层的摩擦因数随着GO-TiO_(2)的加入稍微降低,而涂层的耐磨损性能显著增加。未添加GO-TiO_(2)涂层的摩擦因数为0.51左右,磨损率为2.17´10–4 mm^(3)/(N·m),当添加1.0%GO-TiO_(2)时,涂层摩擦因数和磨损率分别降低至0.45和0.51´10–4 mm^(3)/(N·m)。结论涂层磨损主要是由脆性剥落引起的,而且GO-TiO_(2)的添加并未改变涂层磨损机制。GO-TiO_(2)通过抑制裂纹的拓展,提高了涂层的耐磨损性能。
- 卞达倪自丰钱善华王永光赵永武
- 关键词：氧化石墨烯磨损
- 电芬顿CMP抛光液中磨粒的分散性研究及中性环境下绿色抛光液的设计
- 2025年
- 芬顿反应是一种能产生强氧化性羟基自由基(·OH)的绿色氧化反应,选用三聚磷酸钠(STPP)为外加电解质、金刚石为磨粒,比较STPP、NaCl和Na_(2)SO_(4)对芬顿反应中金刚石磨粒分散稳定性的影响,并研究该绿色抛光液在不同pH值下对电芬顿抛光液中金刚石磨粒的抗沉降能力、Zeta电位以及抛光液粒径的影响,并对GaN晶圆的抛光效果进行验证。结果表明:STPP能与芬顿反应抛光液中的Fe^(2+)络合,防止多余的金属阳离子流入扩散层,提高了金刚石磨粒的分散稳定性,且STPP能有效改善芬顿反应抛光液中金刚石磨粒团聚的现象;此外,STPP使抛光液能在偏中性环境中具有较好的分散性,且含有STPP的绿色抛光液可在中性环境下实现对GaN晶圆高效、无损的超精密抛光。
- 成锋王子睿朱睿王永光彭洋张天宇赵栋樊成
- 关键词：芬顿反应三聚磷酸钠
- 一种基于液料等离子喷涂技术的石墨烯涂层及其喷涂工艺
- 本发明涉及一种基于液料等离子喷涂技术的石墨烯涂层及其喷涂工艺，属于涂层技术领域。该工艺通过将基体预热至100‑300℃，采用液料等离子喷涂技术通过喷枪将石墨烯悬浮液沉积在基体表面，得到所述石墨烯涂层；所述石墨烯悬浮液的浓...
- 俞泽新许振宁桂珑恩王博通刘妹妹王永光
- 电诱导辅助化学机械抛光测试装置
- 本发明公开了一种电诱导辅助化学机械抛光测试装置，包括：抛光液池、抛光垫、抛光盘、抛光头、驱动器、负电极以及外接电源；所述抛光液池用于盛装抛光电解液，其通过所述抛光盘带动而旋转；所述抛光垫贴合于抛光液池的底壁上；所述抛光头...
- 王永光钮市伟寇青明陈瑶赵栋刘卫卫
- 文献传递
