张林涛
- 作品数：30 被引量：42H指数：4
- 供职机构：清华大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术电气工程自动化与计算机技术更多>>
- 一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构及其制备方法
- 本发明涉及一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构的制备方法，首先制备PZT和PT先驱溶胶备用，在单晶硅衬底上生长二氧化硅，再在溅射一层金属Pt/Ti层作底层电极，在其上旋涂一层PT溶胶，再旋涂一层PZT溶胶，最后在铁电薄膜...
- 任天令张林涛刘理天李志坚
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- 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构
- 本实用新型涉及用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构,该结构依次由:硅衬底、氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、底层Pt/Ti电极、PZT铁电薄膜、顶层Pt/Ti电极相互排列而成,所述的氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、底层Pt...
- 任天令张林涛李志坚刘理天
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- 用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法
- 本发明涉及用于微麦克风和扬声器的悬臂式振膜结构及其制备方法，首先在单晶硅衬底淀积一层氮化硅，硅衬底背面腐蚀，形成背腔，在氮化硅上淀积一层二氧化硅，射频磁控溅射金属Pt/Ti层，再光刻金属Pt/Ti层，以形成底层电极；用溶...
- 任天令张林涛李志坚刘理天
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- 基于夹固振膜结构的微声学器件
- 基于夹固振膜结构的微声学器件，涉及一种微声学器件的结构设计。该器件由硅衬底和设置在其上的复合膜构成，所述的复合膜由底层向上依次为硅层、热氧层、氮化硅层、低温淀积的二氧化硅层、金属钛粘附层、金属铂下电极层、锆钛酸铅铁电薄膜...
- 任天令刘理天杨轶张林涛
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- 硅基PT/PZT/PT夹心结构的性能研究被引量：3
- 2000年
- 在已有的以无机锆盐为原料 ,用 Sol- Gel方法制备硅基 Pb(Zr0 .5 3 Ti0 .47) O3 (PZT)铁电薄膜的工艺基础上 ,成功地制备出 Pb Ti O3 / Pb(Zr0 .5 3 Ti0 .47O3 / Pb Ti O3 (PT/ PZT/ PT)夹心式新结构。由于采用了这种夹心式结构 ,使得 PZT铁电薄膜的退火温度由原来的 90 0℃降到了 70 0℃。通过实验检验了新结构的铁电和介电性能。发现夹心结构有助于提高 PZT薄膜的品质。
- 任天令张林涛刘理天李志坚
- 关键词：PZTPT硅基半导体
- Sol-Gel法硅基铁电薄膜研究被引量：1
- 2000年
- 介绍了用溶胶 凝胶方法制备Pb(Zr0 .53Ti0 .4 7)O3(PZT)铁电薄膜的工艺流程。以硝酸锆、醋酸铅和钛酸四丁酯为原料 ,在 90 0℃ ,30min退火条件下制备了硅基PZT铁电薄膜。实验分析结果显示 ,PZT铁电薄膜的晶化很完善。研究了PZT铁电薄膜与硅之间的界面及其对铁电薄膜品质的影响。并在此基础上实现了制备PZT铁电薄膜的低温改进工艺。
- 张林涛任天令张武全刘理天李志坚
- 关键词：溶胶-凝胶法锆钛酸铅
- Sol-Gel方法制备硅基PZT铁电薄膜
- 本文介绍了用Sol-Gel方法在硅衬底上以硝酸锆、醋酸铅和钛酸四丁脂为原料制备PZT铁电薄膜的工艺流程.对上述方法制备的铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质进行了分析,结果表明硅基PZT薄膜形成了良好的钙钛矿结构...
- 张林涛任天令张武全刘理天李志坚
- 关键词：SOL-GEL法铁电薄膜
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- 硅基PZT铁电薄膜的制备与性能研究被引量：10
- 2001年
- 用溶胶－凝胶（Ｓｏｌ－Ｇｅｌ）方法制备了硅基Ｐｂ（Ｚｒ＿０．５３Ｔｉ＿０．４７）０＿３（ＰＺＴ铁电薄膜。分析了ＰＺＴ铁电薄膜的表面形貌、晶化程度、界面状态等性质。基于上述分析结果提出并实现了低温退火处理制备有ＰＴ过渡层的ＰＺＴ铁电薄膜的工艺流程。测试了低温制备的ＰＺＴ铁电薄膜的Ｃ－Ｖ、漏电等电性能，发现在Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法制备ＰＺＴ铁电薄膜的工艺中加入ＰＴ过渡层，有助于提高ＰＺＴ薄膜的品质。
- 张林涛任天令张武全刘理天李志坚
- 关键词：SOL-GEL法PZTPT铁电薄膜
- 压电薄膜悬臂梁结构的建模和性OO能模拟
- 用ANSYS软件建立了压电薄膜悬臂梁结构的有限元模型,对悬臂梁进行了结构静力分析、模态分析,计算出了悬臂梁的谐振频率和振型.对基于压电薄膜悬臂梁结构的微麦克风和扬声器进行了灵敏度计算和谐波响应分析.
- 杨轶张林涛张宁欣伍晓明任天令刘理天
- 关键词：压电薄膜微麦克风扬声器有限元分析ANSYS
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- 硅基铁电薄膜的电性能研究被引量：6
- 2001年
- 以 Sol- Gel方法制备了有 Pb Ti O3 (PT)过渡层的硅基 Pb(Zr0 .53 Ti0 .47) O3 (PZT)铁电薄膜 ,底电极分别为低阻硅和硅衬底上溅射的金属钛铂。测试了铁电薄膜的电性能 。
- 任天令张林涛刘理天李志坚
- 关键词：钛酸铅溶胶-凝胶法
