林栋
- 作品数：14 被引量：14H指数：2
- 供职机构：华中科技大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：金属学及工艺一般工业技术自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 一种用于圆片真空封装的夹具
- 本发明公开了一种用于圆片真空封装的夹具，在托盘上装有二套或三套夹紧装置，每套夹紧装置由两个平行四杆机构组成，该机构的结构为，第一连杆通过第四销轴与第一从动杆的一端连接，第一连杆的一端通过第三销轴与第一主动杆的一端连接，在...
- 刘胜汪学方甘志银张鸿海关荣锋林栋
- 文献传递
- 一种用于MEMS器件真空密封技术的电阻熔焊方法
- 2008年
- 提出了一种用于MEMS器件真空密封的电阻熔焊方法。低泄漏率是MEMS器件真空密封的关键因素之一。通过研制的真空电阻熔焊机,设计带缓冲腔的封装外壳,实现了MEMS器件真空密封。试验结果表明,封装好的器件具有长时间真空保持性。
- 王成刚汪学方甘志银林栋张鸿海刘胜
- 关键词：MEMS电阻焊
- 高精度三极管全自动粘片机及其关键技术被引量：5
- 2007年
- 在分析系统结构及工作原理的基础上,着重探讨了三极管粘片机主控制系统、视觉定位系统、晶粒拾取粘接时序控制等关键技术。研制的高精度三极管粘片机已应用于具体项目中,实验表明其具有速度快、精度高、操作方便等优点。
- 马豪张鸿海陈良锋徐丹燕梁观平林栋
- 关键词：运动控制视觉定位
- 一种用于圆片真空封装的夹具
- 本发明公开了一种用于圆片真空封装的夹具，在托盘上装有二套或三套夹紧装置，每套夹紧装置由两个平行四杆机构组成，该机构的结构为，第一连杆通过第四销轴与第一从动杆的一端连接，第一连杆的一端通过第三销轴与第一主动杆的一端连接，在...
- 汪学方张鸿海刘胜关荣锋王志勇甘志银史铁林林栋
- 文献传递
- 微系统真空封装装置
- 本发明公开了一种微系统真空封装装置，结构是，在箱盖上装有气缸，在真空室的侧面开有接口接真空抽气系统；上热压头包括过渡板、第一上隔热板、上加热板和上压板，并依次固连，过渡板固定在中心气缸活塞杆上，可随其上下移动；在上加热板...
- 汪学方张鸿海刘胜关荣锋王志勇甘志银史铁林林栋
- 文献传递
- MEMS器件真空封装工艺、装备及真空度检测的研究被引量：2
- 2007年
- 开发了一台利用电阻焊实现MEMS器件真空封装的设备,探索了内部真空度在10Pa以下的MEMS器件的真空封装工艺,即一次压力为0.4MPa、二次压力为0.6MPa、充电电压为325V时封装质量最好;研究了一种利用晶振测量真空度的方法,经试验,至少经两天老化后晶振的共振频率才能稳定;对7个真空封装器件进行高低温循环试验,其中有5个器件的真空度在三天后还保持在10Pa以下且趋于稳定,成品率达到71.43%。
- 汪学方林栋甘志银刘胜张鸿海
- 关键词：电阻焊真空封装真空度检测晶振
- 器件级MEMS真空熔焊封装的研究
- 随着MEMS 技术的发展，封装在整个MEMS 器件中的成本占据越来越大的比例。而MEMS 真空封装一直是MEMS封装中的难点。我国目前仍然没有掌握MEMS真空封装的核心技术，无法真正实现MEMS 器件的真空封装。基于上述...
- 林栋
- 关键词：石英晶振谐振电阻真空度微机电系统
- 文献传递
- 微系统真空封装装置
- 本发明公开了一种微系统真空封装装置，结构是，在箱盖上装有气缸，在真空室的侧面开有接口接真空抽气系统；上热压头包括过渡板、第一上隔热板、上加热板和上压板，并依次固连，过渡板固定在中心气缸活塞杆上，可随其上下移动；在上加热板...
- 刘胜汪学方甘志银张鸿海关荣锋林栋
- 文献传递
- 一种组织切片获取带有精准空间定位单细胞的方法
- 本发明提供了一种组织切片获取带有精准空间定位单细胞的方法，属于生物技术领域，包括：在组织切片的一面粘附透明胶带，组织切片经固定处理后，用另一层透明胶带覆盖组织切片的另一面，形成三层结构，然后用刻有方格矩阵的芯片在胶带上印...
- 张智红黄松林潘奇林栋骆清铭
- 真空电阻焊机的研制与试验被引量：1
- 2007年
- 为了解决MEMS器件真空封装难题,设计并研制了一台将电阻焊与真空系统集成于一体的真空电阻焊机。采用波纹管和高性能密封圈来实现真空密封;采用电木板或聚四氟乙烯等真空泄漏率低的绝缘材料来实现绝缘。有限元分析表明,焊接高温并不会降低初始真空度,在电极上开小螺栓孔对焊接电流分布的影响不大。MEMS器件真空封装试验表明,该装备封装效果良好。
- 汪学方甘志银刘胜张鸿海林栋
- 关键词：真空封装MEMS密封
