马学锋
- 作品数：5 被引量：1H指数：1
- 供职机构：北京航空航天大学材料科学与工程学院更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- 溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜
- 本文以醋酸钡、醋酸锶和钛酸四丁酯为原料,异丙醇、水为溶剂,冰醋酸作催化剂,采用溶胶-凝胶法在氧化铝陶瓷基片上制备钛酸锶钡铁电薄膜.用差热分析、红外光谱分析和X-射线衍射分析,确定了薄膜的热处理工艺;采用逐层热处理方式获得...
- 王树彬马学锋史伟荣张跃
- 关键词：溶胶凝胶法钛酸锶钡薄膜
- 溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的研究
- 本文以微波介质移相器为应用背景,研究溶胶-凝胶法制备BST铁电薄膜。以醋酸钡、醋酸锶和钛酸四丁酯为主要原料,异丙醇、水为溶剂,冰醋酸作催化剂,合成了BaSrTi O的稳定溶胶;采用溶胶-凝胶法在Al2O3陶瓷基片旋涂制备...
- 王树彬马学锋姚纯史伟荣
- 关键词：溶胶-凝胶法
- 文献传递
- 大气开放式MOCVD氧化镁薄膜的生长及表征(英文)被引量：1
- 2007年
- 以2,4-乙酰丙酮化镁为前驱体,衬底温度为480℃,采用MOCVD工艺,分别在玻璃、氧化铝陶瓷、单晶Si(111)和Si(100)衬底上生长了取向生长的氧化镁薄膜。X射线衍射结果表明,无论是采用玻璃、氧化铝、单晶Si(111)和Si(100)衬底,氧化镁薄膜都是沿着(100)晶面取向生长。通过扫描电镜观察得到,在单晶Si(100)衬底上生长的氧化镁薄膜表面平整致密。模拟卢瑟福背散射结果显示,沉积时间超过70min时,界面处发生硅向氧化镁层少量扩散现象。
- 王树彬韩夏马学锋
- 关键词：X射线衍射扩散
- 溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的研究
- 马学锋
- 溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜
- 2005年
- 以醋酸钡、醋酸锶和钛酸四丁酯为原料,异丙醇、水为溶剂,冰醋酸作催化剂,采用溶胶-凝胶法在氧化铝陶瓷基片上制备钛酸锶钡铁电薄膜.用差热分析、红外光谱分析和X-射线衍射分析,确定了薄膜的热处理工艺;采用逐层热处理方式获得Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜.研究表明:在溶胶制备过程中加入一定量的干燥化学控制添加剂、采用逐层热处理工艺、降低升温速率以及增加保温时间,能够有效防止薄膜开裂;X-射线衍射分析结果显示,所制备的Ba0.5S0.5TiO3薄膜呈钙钛矿结构;SEM观察结果显示薄膜结晶完善,致密无开裂.
- 王树彬马学锋史伟荣张跃
- 关键词：溶胶-凝胶法
