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蔡峋

作品数：1 被引量：10H指数：1
供职机构：上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部重点实验室更多>>
相关领域：环境科学与工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇环境科学与工...
  • 1篇理学

主题

  • 1篇氧化钛薄膜
  • 1篇异丙醇
  • 1篇水解法
  • 1篇水解法制备
  • 1篇气相沉积
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇二氧化钛薄膜
  • 1篇TIO_2薄...
  • 1篇LPCVD
  • 1篇丙醇

机构

  • 1篇上海交通大学
  • 1篇太原理工大学

作者

  • 1篇蔡峋
  • 1篇孙彦平
  • 1篇李文漪
  • 1篇赵君芙
  • 1篇李刚

传媒

  • 1篇材料科学与工...

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
LPCVD水解法制备TiO_2薄膜被引量：10
2003年
本文利用LPCVD法水解四异丙醇钛 (TTIP)制备TiO2 薄膜 ,研究了制备过程中水解TTIP的反应动力学。通过对沉积温度和沉积率关系的研究 ,计算出TTIP水解反应表观活化能为 5 9 85kJ mol。沉积温度不仅影响反应速率 ,还对TiO2 薄膜结构、表面形貌有决定性的作用。XRD和Raman分析表明 :TTIP水解法制备TiO2 薄膜 ,薄膜结构主要依赖于沉积温度。 180℃～ 2 2 0℃沉积TiO2 薄膜为非晶态 ,2 40℃～ 3 0 0℃沉积为锐钛矿和非晶态混杂结构。在水分压对TTIP水解反应影响的研究中发现 ,水分压为零时 ,TTIP发生热解反应 ,TiO2 沉积率不为零 ,热解反应 2 40℃无锐钛矿特征峰出现。这说明水解反应制备TiO2 有利于降低锐钛矿的生长温度。氧分子的加入可以消除TiO2 薄膜表面的“针孔”。
李文漪李刚蔡峋孙彦平赵君芙
关键词：二氧化钛薄膜化学气相沉积
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