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张久惠

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：辽宁大学物理系更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...

主题

  • 2篇压阻
  • 2篇微压
  • 2篇微压传感器
  • 2篇线性度
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇压力传感器
  • 1篇压阻式
  • 1篇设计原理
  • 1篇力传感器
  • 1篇力敏电阻
  • 1篇力敏元件
  • 1篇晶向
  • 1篇变分
  • 1篇变分法

机构

  • 2篇辽宁大学

作者

  • 2篇沈桂芬
  • 2篇张久惠
  • 2篇杨学昌

传媒

  • 2篇辽宁大学学报...

年份

  • 2篇1988
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
微压传感器的设计分析
1988年
本文分析了压阻式扩散硅压力传感器的设计原理:对微压传感器的关键问题提出了各向异性腐蚀,掺高浓度硼停止腐蚀;用E型杯代替C型杯的设计,初步研制了量程小于1000mm水柱高,精度小于0.5%的微压传感器。
张久惠沈桂芬杨学昌
关键词：微压传感器压阻式压力传感器设计原理线性度晶向
微压传感器膜片的设计与研制中的关键技术
1988年
本文介绍了正方形膜片微压传感器的结构,分析了其设计思想。并就利用正方形膜片开发的微量程力敏器件的灵敏度作了分析。最后较详细地讨论了微压传感器研制中的关键技术——各向异性腐蚀技术。
沈桂芬杨学昌张久惠
关键词：微压传感器力敏电阻压阻力敏元件变分法线性度
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共1页<1>
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