刘大礼
- 作品数:18 被引量:27H指数:3
- 供职机构:北京理工大学更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重大科学仪器设备开发专项更多>>
- 相关领域:机械工程电子电信自动化与计算机技术理学更多>>
- 差动共焦透镜中心厚度测量方法与装置
- 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦透镜中心厚度测量方法与装置。该方法首先通过差动共焦定焦原理分别确定被测透镜前表面顶点和后表面顶点的位置,并获取差动共焦测头两次定位的位置坐标,然后利用光线追迹公式计算透镜中...
- 赵维谦史立波孙若端邱丽荣刘大礼沙定国
- 文献传递
- 具有抗反射率能力的激光差动共焦显微成像新方法
- 共焦显微镜(CM)由于具有光学领域独特的轴向层析能力、横向高分辨能力以及便于与光瞳滤波器结合进行超分辨成像能力,在微电子制造、工业精密检测、生物医学、材料工程等领域得到广泛应用。然而现有共焦显微成像方法存在以下不足:1)...
- 邱丽荣刘大礼赵维谦崔晗盛忠
- 关键词:图像重构
- 共焦元件测量系统数据处理中的高斯滤波算法被引量:1
- 2013年
- 为进一步提高共焦元件参数测量系统的定焦精度,提出了运用高斯滤波算法对由共焦系统采集的光斑图像和共焦轴向强度响应信号进行滤波处理,以降低系统光学噪声对测量光斑图像的影响,削弱外界环境扰动等因素对共焦轴向强度响应信号的干扰。经理论分析和实验验证,在对测量光斑图像和共焦轴向强度响应信号进行高斯滤波算法处理后,可有效地抑制图像噪声,降低高次谐波干扰,进而提高系统的定焦精度。
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- 关键词:共焦元件参数高斯滤波定焦
- 双轴共焦高空间分辨乘积处理方法
- 本发明属于表面微细结构和生物显微成像测量技术领域,涉及一种双轴共焦高空间分辨乘积检测方法。该方法利用双轴共焦双接收光路中横向偏移放置的双探测器接收到的离焦信号相乘形成双轴共焦乘积测量信号,对被测样品进行测量、成像,通过两...
- 赵维谦邱丽荣江琴刘大礼
- 文献传递
- 差动共焦镜组轴向间隙测量方法与装置
- 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦镜组轴向间隙测量方法与装置,该方法首先通过差动共焦定焦原理对镜组内各透镜表面实现高精度定位,并获得各定位点处差动共焦测头的位置坐标,然后利用光线追迹递推公式依次计算镜组内各...
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- 汽轮机主轴和转子锻件热稳定性分析方法研究被引量:3
- 2009年
- 提出一种新的汽轮机主轴和转子锻件热稳定性实验数据处理与分析方法,其首先利用相位校正2RC数据滤波技术来抑制转子测试带表面异物、表面粗糙特性以及环境振动等因素对测试带径向变化测量结果的干扰,然后利用最小二乘法分析技术准确地确定热变形挠度大小及其方向,以期改善现有锻件热稳定性分析方法的分析处理精度。分析及实验表明:利用数字滤波技术和最小二乘法挠度分析技术等可显著改善汽轮机主轴和转子锻件热稳定性试验的测量和处理精度,其为汽轮机主轴和转子锻件热稳定性测试与分析提供一种新的原理方法。
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- 关键词:数字滤波最小二乘法
- 差动共焦显微边缘轮廓检测与定位方法被引量:5
- 2014年
- 为了实现高效、准确的检测和定位微结构如光刻掩模版的边缘轮廓,提出了一种差动共焦显微(DCM)边缘轮廓检测方法,并对该方法进行了原理仿真分析和实验验证。该方法具有在焦点的过零阶跃触发特性。利用该特性,该方法可以实时得到样品二值化边缘轮廓图像,极大地提高了边缘轮廓检测效率。理论分析和仿真表明,该方法边缘定位准确,不受边缘形状、方向和样品有效反射率的影响,可以有效抑制噪声和干扰。5μm周期台阶标准样品周期测量对比实验表明,该方法所得边缘轮廓能够实现高精度的横向尺寸测量,因此能够用于微结构的快速工业边缘轮廓成像检测。
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- 关键词:过零触发
- 抗反射率实时激光差动共焦显微成像方法与技术研究
- 共焦显微术因其具有独特的光学层析能力和卓越的横向分辨力而在微机电、工业精密检测、生物医学和材料工程等领域的基础理论研究和工业应用中有着极其重要的作用。但是现有共焦显微镜存在如下缺点:(1)采用焦点逐层扫描方式,成像效率低...
- 刘大礼
- 关键词:共焦显微术噪声抑制
- 一种分光瞳激光共焦拉曼光谱测试方法与装置
- 本发明属于显微光谱成像技术领域,将共焦显微技术与拉曼光谱探测技术相结合,涉及一种分光瞳激光共焦拉曼光谱测试方法及装置。利用共焦拉曼光谱探测中遗弃的瑞利散射光构建分光瞳共焦显微成像系统,实现样品三维几何位置的高分辨成像与探...
- 赵维谦王允刘大礼盛忠
- 文献传递
- 具有高空间分辨力的乘积共焦扫描检测方法
- 本发明属于表面微细结构和生物显微成像测量技术领域,涉及一种具有高空间分辨率的乘积共焦扫描检测方法。该方法采用差动共焦双接收光路布置中双偏置探测器的离焦信号相乘形成乘积共焦信号,对被测样品进行测量、成像,通过两个偏置信号的...
- 赵维谦邱丽荣刘超刘大礼
- 文献传递