付世
- 作品数：20 被引量：37H指数：3
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金沈阳市科技局资助项目更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 静电驱动可调微机械电容被引量：1
- 2007年
- 利用简单MEMS技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容.此电容由静电驱动,利用WYKONT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变电容的表面轮廓和位移等信息.测试结果表明,电容的吸合电压为13.5V,电容可调比为1.31:1,在1GHz下品质因数为51.6,电容值为0.79pF.
- 方东明付世周勇赵小林
- 关键词：可调电容射频微机电系统品质因数
- 实现定量和混合的PDMS微流体器件的研究
- 2004年
- 介绍了实现微流体的精确定量和快速混合的基本方法,设计并制作了采用基于PDMS通道的微流体器件。
- 付世董良岳瑞峰刘理天
- 关键词：PDMS
- 硅压力传感器的非线性分析及优化设计被引量：6
- 2003年
- 分析了硅压力传感器的线性与非线性 ,讨论了非线性产生的原因 。
- 沈桂芬付世丁德宏姚朋军张宏庆范军吕品
- 关键词：压力传感器非线性线性度内补偿
- 多孔硅形成机理研究的新进展被引量：2
- 2003年
- 更深入地分析了多孔硅形成的几种模型 ,对影响多孔硅形成的几个关键因素提出了新观点 ,描述了多孔硅的形成过程的一些特性 。
- 付世丁德宏姚朋军单新华沈桂芬
- 关键词：多孔硅晶向散射孔隙度半导体材料
- 微机电系统的研究与分析被引量：11
- 2004年
- 详细介绍了微机械电子系统的内涵。内容包括微型传感器、微型执行器等研究领域 .还介绍了微机械电子系统加工工艺 ,阐明了其涉及的科学技术问题 ,对信息MEMS用途及发展趋势做了较详尽的讨论。
- 沈桂芬张宏庆韩宇范军付世丁德宏姚朋军
- 关键词：微机电系统微型传感器MEMS
- 摇摆式电磁型微机电系统继电器
- 一种电气元件技术领域的摇摆式电磁型微继电器，包括：转子永磁片、轴、转子软磁片、定子绕组、悬臂梁、外壳、触头、封盖、开口、定位销、引线接点、馈电触点，转子软磁片作为转子永磁片的衬底，转子永磁片和转子软磁片相叠合，两者构成转...
- 丁桂甫付世孙晓峰
- 文献传递
- 硅压力传感器的非线性的研究
- 本文分析了硅压力传感器的线性与非线性,讨论了非线性产生的原因,并且提出了硅压力传感器的优化设计方法.
- 沈桂芬付世丁德宏姚朋军张宏庆范军
- 关键词：压力传感器非线性线性度内补偿
- 文献传递
- 多孔硅的能带与发光机制的研究与分析
- 2004年
- 在光致发光技术对多孔硅光学性质研究的基础上讨论了与多孔硅的微观结构有关的多孔硅的能带结构,用能量赝势法模拟计算出多孔硅的能带间隙.
- 丁德宏张宏付世姚朋军范军张宏庆沈桂芬
- 关键词：多孔硅发光机制表面态光致发光
- 一种新型双稳态微机电系统电磁微继电器的研制被引量：3
- 2006年
- 介绍了一种基于微机电系统(MEMS)技术的新型双稳态电磁微继电器的设计及其制作工艺,并对其主要性能进行了测试.利用换向脉冲电流驱动高效的“三明治”式电磁驱动结构,带动电接触刷的运动来控制外电路的通断;辅助设计的永磁稳定结构使器件在脉冲间歇能够保持稳定状态而无需额外功耗.测试结果表明,这种新型电磁微继电器具有体积小,功耗低,响应速度快,接触电阻小等优点.
- 付世丁桂甫王艳
- 关键词：微机电系统双稳态
- 基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真被引量：4
- 2008年
- 基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关。较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏。对所设计开关进行了有限元动态接触仿真,结果表明开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.24ms和10μs,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果,随加速度的增加惯性开关的响应时间减小,两电极的接触时间增加。
- 杨卓青丁桂甫蔡豪刚付世赵小林
- 关键词：微型惯性开关动力学仿真
