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国家自然科学基金(50672065)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：李浩李静静杜希文孙景更多>>
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相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氮流失
  • 1篇退火
  • 1篇退火过程
  • 1篇硅纳米晶
  • 1篇SI
  • 1篇SIO
  • 1篇XN

机构

  • 1篇天津大学

作者

  • 1篇孙景
  • 1篇杜希文
  • 1篇李静静
  • 1篇李浩

传媒

  • 1篇实验技术与管...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
SiO_xN_y薄膜退火过程中N元素的流失对于Si结晶的影响
2007年
通过不同的溅射工艺制得了3组SiOxNy薄膜样品,并进行了不同的退火工艺。在退火后的样品分析结果中发现了薄膜中的N流失现象,并且对N流失促进了Si结晶的这种特点进行了分析和讨论,为今后利用N流失现象进行S i纳米量子点的制备提供了实验和理论依据。
李浩杜希文孙景李静静
关键词：氮流失硅纳米晶退火
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