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吉林省科技厅资助项目(20111812)

作品数：1 被引量：16H指数：1
相关作者：林景全窦银萍孙长凯更多>>
相关机构：长春理工大学更多>>
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相关领域：理学电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇紫外光刻
  • 1篇激光
  • 1篇激光等离子体
  • 1篇极紫外
  • 1篇极紫外光刻
  • 1篇光刻
  • 1篇光源

机构

  • 1篇长春理工大学

作者

  • 1篇孙长凯
  • 1篇窦银萍
  • 1篇林景全

传媒

  • 1篇中国光学

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
激光等离子体极紫外光刻光源被引量：16
2013年
研究并讨论了下一代光刻的核心技术之一—激光等离子体极紫外光刻光源。简要介绍了欧美和日本等国极紫外光刻技术的发展概况,分析了新兴的下一代13.5 nm极紫外光刻光源的现状,特别讨论了国内外激光等离子体极紫外光刻光源的现状,指出目前其存在的主要问题是如何提高光源的转化效率和减少光源的碎屑。文中同时概述了6.x nm(6.5～6.7 nm)极紫外光刻光源的最新研究工作。最后,介绍了作者所在研究小组近年来在极紫外光源和极紫外光刻掩模缺陷检测方面开展的研究工作。
窦银萍孙长凯林景全
关键词：极紫外光刻激光等离子体
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共1页<1>
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