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江西省教育厅科技计划项目(GJJ08318)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：曲铭浩谢耀江王立富冯景华胡跃辉更多>>
相关机构：景德镇陶瓷学院更多>>
发文基金：江西省教育厅科技计划项目更多>>
相关领域：化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程

主题

  • 1篇性能分析
  • 1篇氧化钽
  • 1篇介电
  • 1篇介电常数

机构

  • 1篇景德镇陶瓷学...

作者

  • 1篇胡跃辉
  • 1篇冯景华
  • 1篇王立富
  • 1篇谢耀江
  • 1篇曲铭浩

传媒

  • 1篇陶瓷学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高介电氧化钽薄膜制备与介电性能分析被引量：1
2009年
在较低衬底温度下,通过磁控溅射得到的非晶态Ta2O5薄膜,在氧气氛750℃条件下进行化学热退火,得到晶化的Ta2O5薄膜,其相对介电常数为34.3,漏电流密度小于10-7A/cm2。电容量测试时,为了较好地消除高温退火时产生的SiO2的介质层对电容测试值的影响,用不同厚度氧化钽薄膜为介质层做成金属-绝缘体-金属(MIM)结构的电容器,对这些电容器的电容测试数据,进行Sigmoidal拟合,得到极限电容,从而计算出Ta2O5薄膜的介电常数。
曲铭浩胡跃辉冯景华谢耀江王立富
关键词：介电常数
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