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四川省应用基础研究计划项目(03JY029-062-1)
作品数:
2
被引量:8
H指数:1
相关作者:
张文英
冷永祥
黄楠
孙鸿
沟引宁
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相关机构:
西南交通大学
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发文基金:
四川省应用基础研究计划项目
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超硬超厚类金刚石薄膜合成研究
采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(>6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方...
张文英
黄楠
孙鸿
冷永祥
杨文茂
陈俊英
关键词:
DLC
类金刚石薄膜
文献传递
磁过滤真空弧源沉积C/C多层复合膜的结构和力学性能研究
被引量:8
2006年
采用磁过滤直流阴极真空弧源沉积技术在不锈钢基体表面制备了C/C多层复合膜,通过X射线光电子能谱、Ra-man光谱对薄膜的结构进行表征;C/C多层膜大气下的摩擦损性能在销盘式摩擦磨损试验机上进行;用洛氏压痕法研究了薄膜与基体的结合强度。结果表明:C/C多层复合膜为类金刚石结构。它与SiC球大气下的摩擦系数为0.10左右,其摩损性能由于多层膜的引入而显著提高。Ti过渡层的引入显著提高了膜基结合力。
沟引宁
黄楠
孙鸿
张文英
冷永祥
关键词:
X射线光电子能谱
RAMAN光谱
超硬超厚类金刚石薄膜合成研究
2004年
采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(>6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.
张文英
黄楠
孙鸿
冷永祥
杨文茂
陈俊英
关键词:
DLC
类金刚石薄膜
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