沈丽娜
作品数: 27被引量:23H指数:3
  • 所属机构:新疆师范大学物理与电子工程学院
  • 所在地区:新疆
  • 研究方向:理学
  • 发文基金:国家自然科学基金

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闫观勇
作品数:44被引量:24H指数:4
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 像差 主成分
王向朝
作品数:825被引量:1,352H指数:19
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
李思坤
作品数:167被引量:181H指数:9
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
张恒
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研究主题:掩模 极紫外光刻 仿真方法 投影物镜 接触孔
王先明
作品数:27被引量:57H指数:4
供职机构:新疆师范大学物理与电子工程学院
研究主题:团簇 密度泛函理论研究 N 量子相干控制 量子光学
基于课堂小论文的理论力学考核方法初探
2023年
基于理论力学课程理论性强、抽象思维要求高、学习难度大等特点,传统理论力学考核以闭卷考试为主,考查学生的基本知识和解题能力,考核方式单一使得学生的学习积极性不高,缺乏创新意识和发散思维的培养。文章从提高学生理论力学学习兴趣、教师教学手段、课程考核机制等方面探讨引入课堂小论文作为考核方式的主要目标、重要意义、实施方法、案例参考、评价方式及师生交流反馈方式,分析了课堂小论文这种探索研究型考核方式有别于传统考核方式的优势。为理论力学课程实现拓宽学生视野、激发学生学习兴趣、改进学生学习方法以及切实培养学生应用物理知识解决实际问题的能力,提升当代大学生创新能力等方面提供了理论参考。
张泽霞沈丽娜沈丽娜
关键词:教学方法课程考核
光刻物镜奇像差原位检测方法
一种光刻机投影物镜奇像差原位检测方法,本发明通过处理检测标记空间像在不同对称位置的光强差值,确定最佳测量位置,获得与其对应的最佳灵敏度矩阵。本发明利用检测标记空间像在最佳测量位置的光强差与投影物镜奇像差间的线性关系,提高...
沈丽娜王向朝李思坤闫观勇
文献传递
基于联合变换相关和相移干涉的图像加密被引量:4
2008年
提出了一种在联合变换相关器结构中引入三步相移干涉和二元置乱技术的图像加密方法.用纯相位空间光调制器同时调制原始图像和两个随机相位掩模,利用三步相移技术分别将图像信息和主密钥加密为全息图,并用CCD在输出面上接收,再利用二元置乱技术置乱图像信息的全息图.在获得置乱密钥和附加密钥的情况下,可以通过一定的算法快速、清晰的重建原始图像.用计算机仿真验证了它的可行性和有效性.
沈丽娜李军常鸿森
关键词:图像加密联合变换相关相移干涉
基于交替相移掩模矢量空间像的偏振像差检测方法被引量:2
2016年
提出一种基于交替相移掩模空间像的光刻机投影物镜偏振像差检测方法。采用泡利-泽尼克系数表征偏振像差,结合X和Y两种线性偏振照明方式,用像传感器测量不同照明条件下掩模空间像的成像位置偏移与最佳焦面偏移,利用标定的偏振像差灵敏度矩阵计算获得泡利-泽尼克系数。采用光刻仿真软件对本文方法的有效性进行了验证,结果表明其检测精度优于3.07 mλ。
沈丽娜王向朝李思坤闫观勇诸波尔孟泽江张恒
关键词:成像系统光学制造光刻
激光激励金属下探测光电子性能实验设计与分析
2010年
文章分析研究了一价金属中电子的能量和金属相关性质。设计了两个实验,选择一价金属,用单色准直紫外激光做实验,在光电子能谱仪上精确测定出光电子的速率分布和概率分布。探测一价金属内部自由电子与原子实的能量分布以及结构模型;用紫外激光激励产生的单色的小焦点光电子束代替透射电子显微镜中电子束光源。
范菲菲魏红艳沈丽娜王先明
关键词:激光光电子
相移数字全息及其在信息安全方面的应用
相移数字全息是将数字全息与相移技术相结合的一种光学技术。它是通过相移干涉的方法记录多幅干涉全息图,再利用相应的相移算法计算得到记录面上的物波光场的复振幅分布,进而基于衍射积分原理数字再现原物面上的物波光场。该技术可以在保...
沈丽娜
关键词:信息安全加密技术
文献传递
微波技术对化工过程的强化——评《微波化工技术》
2024年
微波是一种波长较短的电磁波,其波长在红外线和短波之间,容易集聚且具有高定向性、直线传播性、热特性、非热特性等性质。微波会作用于物质中的极性分子,使极性分子排列位置迅速发生变化,摩擦产生热量。微波加热会使物质内的分子链断裂,使脱水过程等反应加快,进而产生化学效应。微波化工技术是以微波为应用原理,以电磁场理论、介质损耗理论、化学及化工原理、材料科学原理等理论科学为基础,将微波应用于化工行业,并利用其加热性等性质,强化化工反应过程并实现工业化的一种技术。微波化工技术能够使有机反应比传统加热方式快数倍,操作简单且效率高,操作过程中很少造成资源浪费,能有效支持化工行业的可持续发展。
韩振华艾德海江·马那甫沈丽娜
关键词:极性分子电磁场理论化工原理介质损耗
增强数字全息再现像的数字方法及实验研究
2013年
数字全息再现干扰像的去除是影响其广泛应用的关键,文章介绍了数字全息的基本原理和增强其再现像的数字处理方法,并通过实验结果进行分析探讨。
王先明沈丽娜张泽霞
关键词:数字全息再现像数字图像处理
对二甲苯分子在激发过程中分子构型和简谐振动频率的变化
2021年
该文利用从头算法和密度泛函理论计算了对二甲苯(PX)分子在基态(S_(0)态)和第一电子激发态(S_(1)态)的分子构型和简谐振动频率值,通过分析得到该分子在S_(1)←S_(0)跃迁过程中分子构型和振动频率的变化情况。PX分子在S_(1)←S_(0)跃迁过程中,键长和键角的变化表明π*←π的激发使苯环发生了扩张,取代基CH3与苯环的相互作用在S_(1)←S_(0)的跃迁中发生了变化。PX分子在S_(1)←S_(0)的激发过程中,同一振动模式在S1态的频率值普遍低于其在S0态时的频率值,说明PX分子在激发过程中苯环发生了扩张,PX分子的结构在S0态的刚性强于在S1态的刚性。
秦晨张泽霞沈丽娜
关键词:几何构型振动频率
光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法
一种光刻机投影物镜波像差检测标记和检测方法。采用方向不同,尺寸相同的一维图形作检测标记。采集检测标记的空间像,对空间像光强拟合得到投影物镜波像差。本发明高精度地校正了空间像位置偏移,降低了空间像位置误差,增加了可检测的泽...
闫观勇李思坤王向朝沈丽娜刘晓雷
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