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祝祖送
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- 所属机构:安庆师范学院
- 所在地区:安徽省 安庆市
- 研究方向:理学
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划
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- 祝祖送林璇英余云鹏林揆训邱桂明黄锐余楚迎
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- 祝祖送张杰易明芳尹训昌闻军
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- SiCl_4/H_2辉光放电等离子体中电子特性的在线检测
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- 王照奎林璇英林揆训邱桂明祝祖送黄锐魏俊红
- 关键词：等离子体增强化学气相沉积多晶硅薄膜电功率大尺寸晶粒尺寸
