谢正和
作品数: 22被引量:15H指数:1
  • 所属机构:中国恩菲工程技术有限公司
  • 所在地区:北京市
  • 研究方向:化学工程
  • 发文基金:国家高技术研究发展计划

相关作者

严大洲
作品数:440被引量:166H指数:7
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 还原炉 氯硅烷
汤传斌
作品数:252被引量:86H指数:6
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:多晶硅 三氯氢硅 四氯化硅 氯化氢 氯硅烷
汪绍芬
作品数:109被引量:26H指数:2
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:多晶硅 还原炉 底盘 进气系统 排气系统
杜俊平
作品数:27被引量:3H指数:1
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:四氯化硅 多晶硅 氯化氢 纳米级二氧化硅 三氯氢硅
肖荣晖
作品数:187被引量:64H指数:5
供职机构:中国恩菲工程技术有限公司
研究主题:多晶硅 三氯氢硅 四氯化硅 氯化氢 氯硅烷