李明
作品数: 27被引量:9H指数:2
  • 所属机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:电子电信
  • 发文基金:国家高技术研究发展计划

相关作者

李昕欣
作品数:535被引量:376H指数:10
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
许鹏程
作品数:96被引量:52H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微悬臂梁 悬臂梁 气体传感器 芯片 纳米线
吴亚明
作品数:163被引量:194H指数:7
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
于海涛
作品数:67被引量:36H指数:5
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微悬臂梁 悬臂梁 谐振式 锁相环 传感器
李伟
作品数:102被引量:14H指数:3
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:芯片 折射率 弹性梁 电磁波 衬底