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脉冲激光沉积法制备YSZ薄膜的导电机制: 2024年; YSZ薄膜氧气传感器的微型化和高灵敏度是其未来的发展趋势,厘清氧离子在薄膜中的输运机制是提高氧气传感性能的关键。鉴于此,本研究采用脉冲激光沉积技术在单晶Si(100)衬底上制备了YSZ薄膜,并采用X射线衍射、扫描电子显微镜、X射线光电子能谱等技术研究了薄膜制备工艺对其成分、结构和导电特性的影响。研究结果显示YSZ薄膜结构呈多晶立方相,退火温度对YSZ薄膜的性质有显著的调控作用。一方面,高温退火使薄膜的平均晶粒尺寸显著增大,因而能大幅提高薄膜的电导率;另一方面,退火又调控了薄膜中的Zr、Y、O元素的含量比,且当O含量增加时,薄膜的电导率降低。此外,本研究还表明,YSZ薄膜经高温退火(T≥1073 K)后,呈现典型固体电解质的离子导电特性。进一步地,在313 K至873 K范围内,YSZ薄膜具有两个温度拐点,预示其存在三种导电机制。经计算,YSZ薄膜在高温段的激活能与文献报道相符。本研究对脉冲激光沉积制备特定需求的YSZ薄膜提供了一定的技术参数。; 张靖松曹林洪王进王进蒋玉苹唐维; 关键词：脉冲激光沉积 YSZ薄膜退火温度

可用于氧气传感器的新型高离子电导YSZ薄膜制备方法: 2024年; 基于微机电系统的氧化钇稳定氧化锆(YSZ)薄膜氧气传感器因其小型化、集成化优势而成为新一代氧气传感器的最佳技术路线.集成化小型化的关键在于获取工作温度低,离子电导率高的YSZ薄膜.本工作探究了脉冲激光沉积技术在降低YSZ薄膜工作温度和提高其离子电导率方面的应用;通过在高真空下采用脉冲激光沉积技术,多次沉积与原位氧退火交替实施获取了厚度约为200 nm的YSZ薄膜,分析了沉积与退火温度对薄膜结构、成分、电学性能和氧气气敏性能的影响.此外,本文还验证了氧离子在氧空位中传输是薄膜的主要传导机制,且具有较低的氧离子激活能0.227 eV,最后进行了氧气敏感测试.结果表明:采用PLD法可将YSZ薄膜的工作温度从1073 K降低至873 K,这为基于MEMS的微型YSZ薄膜氧气传感器的研发进行了有效探索.; 马可贞张靖松; 关键词：脉冲激光沉积 YSZ薄膜

基于YSZ薄膜的固体电解质型气体传感器研究: 本文主要研究稳定氧化锆(YSZ)作为固体电解质的薄膜型气体传感器。YSZ固体电解质型气体传感器灵敏度高、选择性好、稳定性强，适用于在严苛环境下的气体检测，在多个应用领域展现出广泛的应用潜力。但是由于YSZ固体电解质需要一...; 张建宇; 关键词：气体传感器稳定氧化锆溶胶-凝胶法

电子束蒸镀法制备高定向YSZ薄膜工艺、结构及机理研究: 大面积Ir衬底上外延生长金刚石是获得大尺寸单晶金刚石薄膜的一种重要技术手段。考虑到大尺寸单晶Ir的不易获得性，制备大尺寸Ir复合衬底是异质外延金刚石的重要前提。氧化物充当缓冲层，单晶Si充当底层衬底的Ir/氧化物/Si复...; 房诗舒; 关键词：晶体结构; 文献传递

同质外延YSZ薄膜的制备与结构表征: 2020年; 利用脉冲激光沉积在YSZ[100]基底上同质外延生长不同组分的YSZ薄膜.研究发现,当生长温度为300℃时,薄膜为非晶态,而在温度为650℃时,掺杂10%氧化钇(摩尔分数)的YSZ具有立方结构,而掺杂6%和8%氧化钇的YSZ薄膜同时具有立方和四方结构.通过调控生长工艺条件,以及利用具有不同组分的薄膜与基底来构造不同的应变状态,可以制备具有不同结构的YSZ外延薄膜.; 李俊宝杨丽周益春; 关键词：YSZ薄膜 PLD

YSZ薄膜的铁弹畴调控及力学性能表征: 热障涂层是航空发动机涡轮叶片的三大防护技术之一，由于它的存在，使得高温合金基底不受高温“烤”验，但热障涂层存在着易于剥落的致命风险，使其难以持续有效的对涡轮叶片起到防护作用的问题越来越引起人们的关注。随着涡轮发动机对高推...; 李俊宝; 关键词：热障涂层氧化锆陶瓷脉冲激光沉积力学性能; 文献传递

一种新型YSZ薄膜的制备方法: 本发明提供了一种新型YSZ薄膜的制备方法，所述YSZ薄膜的制备方法包括如下步骤：将NiO,YSZ和面粉按一定比例混合，进行研磨，成型，煅烧，得到NiO/YSZ阳极支撑体；在上述NiO/YSZ阳极支撑体表面用匀胶机将YSZ...; 姚余江蒋达春; 文献传递

YSZ薄膜的制备及其红外反射特性的探究: 随着科学技术的迅速发展，航空技术也成为了重点发展领域。航空与国防之间已经密切相关。目前飞行速度的急剧增大导致了机体不同部位温度的迅速增大，传统的热防护以及低可探测材料已经受到了越来越多的限制，因此迫切需要开发一种新型材料...; 刘曜铭; 关键词：磁控溅射

IBAD-YSZ薄膜辅助离子束对生长竞争机制的影响: 2015年; 采用离子束沉积方法(IBAD)制备高温超导涂层导体的钇稳定氧化锆(YSZ)缓冲层中已发现了YSZ薄膜中生长过程中会出现(001)和(011)取向竞争,该文在IBAD-YSZ薄膜的研究中,选取较弱的辅助离子束流和能量,发现随着束流的变化薄膜从(011)的纤维织构向(001)双轴织构的逐步过渡,这说明辅助束离子在薄膜生长过程中作用非常明显;这一现象除了选择性溅射模型和各向异性破坏模型能解释外,表面自由能和辅助离子束产生的沟道效应相互竞争的作用也可解释取向竞争现象。; 赵子甲; 关键词：离子束辅助沉积 YSZ

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