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- 马毅超姚旭腾曾莉欣朱林
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- 张兰丹
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- 一种电荷反馈的三轴加速度计ASIC设计
- 随着MEMS加工工艺的不断发展,其可靠性和精准度都有很大提高。在物联网日益发展的今天,MEMS传感器广泛应用于各行各业。其中,MEMS电容式加速度计更是在汽车安全、航空航天、武器装备、消费电子等领域起到重要作用。MEMS...
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