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一种金属有机化合物气相设备及其加热器
本申请涉及金属有机化合物气相领域,公开了一种金属有机化合物气相设备及其加热器,包括:用于与金属有机化合物气相设备固定连接的安装座;加热器主体,加热器主体包括石墨发热芯体和热解氮化硼涂层,热解氮化硼涂层包裹在石...
都业志
一种金属有机化合物气相系统
本实用新型公开了一种金属有机化合物气相(MOCVD)系统,包括反应室、载气源、三族源、五族源、三族源总管路、五族源总管路和尾气处理单元,其特征在于,该MOCVD系统还包括外加碳源,载气源通过管路连接该外加碳源,该外加...
杨学林沈波沈剑飞刘丹烁蔡子东杨志坚王新强
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金属有机化合物气相反应装置的反应基座
一种金属有机化合物气相反应装置的反应基座,包括:一圆盘状的反应基座,该反应基座上开三个圆形凹槽,该圆形凹槽边缘为圆弧过渡结构,该反应基座中心处存在一个圆弧脊形过渡结构,使得反应基座表面中心处高于其他部分,该反应基座...
刘双韬赵德刚陈平朱建军刘宗顺
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金属有机化合物气相反应装置的反应基座
一种金属有机化合物气相反应装置的反应基座,包括:一圆盘状的反应基座,该反应基座上开三个圆形凹槽,该圆形凹槽边缘为圆弧过渡结构,该反应基座中心处存在一个圆弧脊形过渡结构,使得反应基座表面中心处高于其他部分,该反应基座...
刘双韬赵德刚陈平朱建军刘宗顺
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采用金属有机化合物气相外延技术生长非对称电子储蓄层高亮度发光二极管的方法
本发明涉及一种发光二极管的制作方法,公开了一种采用金属有机化合物气相外延技术生长非对称电子储蓄层高亮度发光二极管的方法,改善源区晶体质量,提高发光器件内量子效率。本发明在金属有机化合物气相外延反应室中将蓝宝石Al<Su...
贾传宇殷淑仪高宗伟孙永建张国义
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采用金属有机化合物气相外延技术生长高抗静电能力发光二极管的方法
本发明公开了一种采用金属有机化合物气相外延技术生长高抗静电能力发光二极管的方法,减小其耗尽层厚度,增加其内建电容。本发明首先在金属有机化合物气相外延反应室中将蓝宝石Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>衬...
贾传宇殷淑仪杨绍林高宗伟陆羽孙永建张国义
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采用金属有机化合物气相外延技术生长非对称电子储蓄层高亮度发光二极管的方法
本发明涉及一种发光二极管的制作方法,公开了一种采用金属有机化合物气相外延技术生长非对称电子储蓄层高亮度发光二极管的方法,改善源区晶体质量,提高发光器件内量子效率。本发明在金属有机化合物气相外延反应室中将蓝宝石AllO3...
贾传宇殷淑仪高宗伟孙永建张国义
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金属有机化合物气相外延基础及应用
本书是国内第一本全面系统地介绍MOVP的专著,从理论和实践两个方面分别论述了该技术的生长系统和原材料特性等实验基础、MOVPE生长热力学、化学反应动力和输运现象等理论基础。
陆大成
关键词:有机金属化合物气相外延生长
Measurement of Refractive Indices of (Al_xGa_(1-x))_(0.51)In_(0.49)P Grown by Low Pressure Organometallic Vapor Phase Epitaxy
2001年
The refractive indices of disordered (Al xGa 1-x ) 0 51 In 0 49 P,which is grown by low-pressure organometallic vapor phase epitaxy and lattice-matched to GaAs substrate,have been determined by measuring their reflectance spectra when the wavelength ranges between 0 5 to 2 5 micrometer.A single-oscillator dispersion model is used to verify the experiment data and calculate the reflectance spectrum.The refractive indices are used to analyze the waveguide of strain quantum well GaInP/AlGaInP visible laser diode.The simulated far field pattern is consistent with the experimental results very well.
廉鹏马骁宇张广泽陈良惠
关键词:MEASUREMENTGAINP/ALGAINP
金属有机化合物气相外延生长GaN薄膜的电子微结构研究被引量:1
2000年
研究了金属有机化合物气相外延(MOVPE)方法在(0001)氧化铝基底上生长的GaN 薄膜的微结构,目的在于解释GaN缓冲层在二步法生长过程中的作用及其对外延层晶体质量的影响.在缓冲层中观察到了高密度的结构缺陷,并发现了两种晶体结构(立方和六角)的GaN.进而对两种结构GaN的成因进行讨论,并对缓冲层和外延层中结构缺陷的关系进行了研究.
程立森张泽杨志坚童玉珍张国义
关键词:MOVPE微结构氮化镓

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陈国鹰
作品数:80被引量:198H指数:7
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研究主题:半导体激光器 激光器 量子阱激光器 金属有机化合物气相淀积 高功率
花吉珍
作品数:26被引量:57H指数:4
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所
研究主题:半导体激光器 金属有机化合物气相淀积 大功率半导体激光器 单量子阱 MOCVD
辛国锋
作品数:76被引量:215H指数:9
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:半导体激光器 激光器 大功率半导体激光器 半导体激光器阵列 金属有机化合物气相淀积
安振峰
作品数:70被引量:154H指数:7
供职机构:中国电子科技集团公司第十三研究所
研究主题:半导体激光器 激光器 激光器阵列 大功率 封装
黄柏标
作品数:395被引量:309H指数:9
供职机构:山东大学
研究主题:SUB 光催化剂 光催化材料 光催化 铋